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PVD沉积系统
，TOPCon电池也有比较高的呼声。
相比较而言，异质结电池有4道工艺(制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备，对应的设备分别为清洗制绒设备、PECVD设备、PVD/RPD设备、丝网印刷设备
则是单/多晶电池、光伏电池组件，下游则包括逆变器、电站EPC系统和运营。
其中，从生产工序来看，光伏组件生产流程大致分为：经电池片分选单焊接串焊接拼接(就是将串焊好的电池片定位，拼接在一起)中间测试
全工艺流程设备，LPCVD 设备布局领先。主要产品线包 括：
1) 等离子增强化学气相沉积镀膜系统 PECVDTwinLPE430/10：可应用于各种高效电池 AlOx 和 SiNx 生长
工艺，为各类太阳能电池生产和研发的核心工艺设备。
2) 等离子增强化学气相沉积水平镀膜系统 PECVDVEGALVG400/0X：可应用于各种高效电 池 AlOx 和 SiNx 生长工艺，为各类
沉积、电极金属化四个步骤，分别对应的制绒清洗、PECVD、PVD/RPD、 丝印/电镀四道工艺设备。随着迈为、捷佳及钧石等国内设备厂商积极推进 HJT 整线设备产业化，带动核心设备价格持续下降
PERC电池为主，PERC电池市场占比达到86.4%。
1) Al-BSF电池技术。为改善太阳能电池效率，在P-N结制备完成后，在硅片的背光面沉积一层铝膜，制备P+层，称为铝背场电池。铝背层主要进行表面
理想万里晖的PECVD设备、迈为股份的PVD设备、迈为股份及中辰昊的丝网印刷设备，并使用了迈为股份MES系统对全电池产线进行调度及智能优化。此外通威异质结新项目预计下半年投产，随着产线继续量产化运行
，下游为光伏发电系统。组件是上游各产品的集成，直接面向开发商，是产业链的价值输出端。
组件环节资产轻，但对管理和销售要求高。组件环节单GW投资额在1亿元左右，属于轻资产环节。但组件环节集合了光伏
产能异质结专用PVD(物理气相沉积)设备。作为新一代高效异质结太阳能电池生产制造核心装备，将为我国实现 碳达峰、碳中和 提供坚实的科技支撑。 电科装备此次推出的异质结专用PVD
沉积设备、TCO设备和丝网印刷设备，早期进口异质结设备单GW投资额超15亿元。2018年以来随着进口设备的产能提升和核心设备的国产化，2020年异质结设备单GW投资额降至4-4.5亿元。站在当前时点
PECVD：异质结降本的关键
目前非晶硅沉积设备的主流方案是静态链式PECVD。当前静态路线和动态路线之争已有结论，各家基本采用静态PECVD方案，其他方案如HWCVD、管式PECVD、团簇式PECVD等
、迈为股份、钧石、理想万里晖、金辰股份均在PECVD有布局，但技术的细节方向上有所不同。 ►透明导电膜沉积：我们估计该阶段的设备价值量占比达到25%。目前沉积TCO存在RPD(反应等离子体沉积)和PVD
晋能科技异质结二期项目扩产的166mm电池片成功下线，开始向大尺寸电池片量产技术的应用上进行前沿性开发。
晋能表示，本次高效异质结电池是对界面态处理、非晶硅生长、TCO沉积、金属化等技术进行全面升级并
计划投资 23.95 亿元，新建 N 型高效太阳能电池及组件生产线，本项目完成后新增 4GW 高效电池片、6GW 高效组件的产能。该项目新购置制绒清洗设备、PECVD 设备、PVD 设备、丝网印刷线
降低系统成本和度电成本。伍德麦肯兹在2020年10月发布的《光伏组件技术市场报告》里指出，光伏项目如果应用540W的M10组件和545W的G12组件，系统成本可以比现有的M4组件的项目低8%到9%，降本
硅，然后再沉积一层掺杂硅薄层，二者共同形成了钝化接触结构。TOPCon代表企业中来股份12月9日宣布，泰州中来生产的TOPCon电池量产转换效率已达到24.5%。根据PV Infolink数据，全球
，成为中国光伏装备第一股。
捷佳伟创系业内较早开始开发HJT整线设备的厂商。HJT电池制备的第三道核心工序是制作透明导电膜，行业内主要采用 PVD(磁控溅射)和 RPD(反应 等离子体沉积法)两种方式
技术路线如何选择，又如何提升技术水准。
透明导电膜是HJT电池制备的第三道核心工序。目前主要采用 PVD(磁控溅射)和 RPD(反应 等离子体沉积法)两种方式，PVD 利用经过加速的高能粒子轰击靶材，使
