PVD沉积系统

有限公司（以下简称曙海公司）于2008年4月8日在上海市南汇区工业园区注册成立。曙海公司是专业从事设计、生产、销售硅薄膜太阳电池生产线和整套工艺及其核心专有设备等离子强化型化学气相薄膜沉积PECVD系统和磁控溅射

Amber 物理气相沉积（PVD）系统，突破了连接芯片上数十亿晶体管电路的互连技术极限。该系统采用了革命性的铜回流技术，是唯一被证明能够在1X纳米技术节点无空隙填充铜结构的单腔体解决方案，它曾是先进逻辑和

升华法、电沉积法、PVD、CVD、丝网印刷、溅射等，规模化生产应用比较成熟的技术是近空间升华法。当然因为这种电池所用的关键材料为Te和Cd而备受业界质疑。Te的储量有限，Cd是剧毒材料，二者形成
13%以上的市场份额。各种薄膜电池都有一些瓶颈问题尚未解决。目前硅基薄膜太阳能电池，无论单结、双结还是三结电池，制造工艺都是采用等离子体增强的化学气相沉积(PECVD)方法，真空腔的清洗基本是氟化物

W。这类电池的吸收层即CdTe薄膜的性能至关重要，其制备方法有近空间升华法、电沉积法、PVD、CVD、丝网印刷、溅射等，规模化生产应用比较成熟的技术是近空间升华法。当然因为这种电池所用的关键材料为Te和Cd
。各种薄膜电池都有一些瓶颈问题尚未解决。目前硅基薄膜太阳能电池，无论单结、双结还是三结电池，制造工艺都是采用等离子体增强的化学气相沉积(PECVD)方法，真空腔的清洗基本是氟化物(SF6或NF3)，排出

。此外，泵组也可以水平安装，从而可以显著地降低系统的高度。 由于新品研发和试生产的需要，著名的UNIVEX系列PVD真空镀膜系统提供给客户多种腔室容积的外形选择，包括不锈钢钟罩型、箱型和团簇型

之本，只有通过对硅基薄膜电池生产技术的持续改进才能不断提高产品竞争力。一是通过非晶/微晶叠层或多结结构，提高产品效率，降低光致衰减；二是提高沉积的速度和均匀性，通过大尺寸、大面积、高速率的沉积降低
光伏系统的相关标准，完善相关产品的质量标准，严格产品质量，以加强行业管理，规范行业发展。另外要加强投资引导，生产商获暴利的时代已过去，在没有掌握核心技术的情况下避免硅基薄膜项目的盲目投资。存在问题光电转换

间接影响，坚持不懈地开发可持续性更高的新生产解决方案。” 作为一个先进的物理气相沉积(PVD)溅镀系统，SOLARIS是晶体硅太阳能电池正反面镀膜的最佳生产解决方案。它具有多层镀膜功能，可在
列支敦士登BALZERS--(BUSINESS WIRE)--(美国商业资讯)--Oerlikon Systems的SOLARIS生产工具仅上市12个月便以其在生产系统的创新和卓越的技术赢得了

金额。在显示器设备方面，Mike Splinter表示，应材在物理气象沉积(PVD)与化学气象沉积(CVD)位居领导地位，目前在全球面板大厂中，市占率超过5成，在大陆的新面板投资计画中也极具竞争力
太阳能厂产能利用率攀升，太阳能面板报价持稳，预计总共扩充11~13GWp的产能，年成长80%，设备支出则较2009年增加100%到80亿美元。应材会计年度第3季半导体系统事业群订单增加至15.4亿美元

~12个季将带动500亿美元的投资金额。 　　在显示器设备方面，Mike Splinter表示，应材在物理气象沉积(PVD)与化学气象沉积(CVD)位居领导地位，目前在全球面板大厂中，市占率超过5成

等离子体增强化学气相沉积炉PECVD设备及30台物理气相沉积炉PVD，价值66.13亿元。另外，交付每批设备预付款后，汉能会以每股0.239元，分三批向铂阳认购合共49.1亿股，涉资达11.7亿元，首批