元件之生产设备,铂阳分三个阶段生产及交付三批生产线。每批生产线均包括(其中包括)140台等离子体增强化学气相沉积炉 PECVD 设备及30台物理气相沉积炉设备 PVD 设备(太阳能光伏组件生产系统新
有望生产并装运100套新的PECVD*和PVD*系统——比去年的装运量提高400%。中心在台南的工厂以及遍布亚洲的供应链将有助于应用材料公司更及时地满足其在亚洲的大量显示器和太阳能客户的需求
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PECVD:等离子体增强化学气相沉积
PVD:物理气相沉积
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新一代高性价比、高产能、高可靠性的非晶硅薄膜太阳能电池生产线。 其核心设备:新一代等离子强化型化学气相沉积(PECVD)系统拥有完全自主知识产权,在多基板-致密沉积类别的设备家族中,解决了射频不稳定和
海市南汇区工业园区注册成立。曙海公司是专业从事设计、生产、销售硅薄膜太阳电池生产线和整套工艺及其核心专有设备等离子强化型化学气相薄膜沉积PECVD系统和磁控溅射系统PVD的高科技企业。 曙海
://www.appliedmaterials.com/products/maxedge_3.html 应用材料公司已经通过生产验证的超薄晶体硅太阳能电池制造系列产品包括用于切片的MaxEdge系统,用于防反射和钝化层沉积的Applied ATON
公司的PECVD(等离子加强化学气相沉积)和ATON PVD(物理气相沉积)系统、激光设备以及工厂自动化软件等全系列能代表应用材料公司SunFab大规模太阳能面板制造薄膜生产线的设备。SunFab
极为广阔。 3.1薄膜材料的制备方法 制备CdTe薄膜方法主要有:(1)CsS,(2)电镀,(3)丝网印刷,(4)化学气相沉积CVD,(s)物理气相沉积PVD,(6)MOCVD,(7)分子束