还原炉
12月8日，中国工程院院士梁骏吾代表鉴定委员会宣布，由洛阳中硅高科技有限公司开发的河南省重大科技专项——“24对棒节能型多晶硅还原炉成套装置”成果，拥有自主知识产权、具有创新性，技术水平处于国内领先
。鉴定委员会一致认为，该单位自主研发的“24对棒节能型多晶硅还原炉成套装置”是目前国内产能最大的多晶硅还原炉，单炉年产量达85吨~100吨，且整体工艺先进、能耗低、生产安全性高，可满足多晶硅大规模生产要求
性价比占据了国内市场的绝对统治地位并批量出口亚洲，多线切割机已取得突破，多晶硅铸锭炉推向市场指日可待。
高纯硅材料提纯设备中关键的24对棒还原炉在国家“863”计划的支持下也已研制成功
电池制造，它包括清洗、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等。
经过数年的艰苦努力，我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子
支撑：其核心装备--“24对棒多晶硅节能型还原炉成套装置”是国家“863”科技攻关项目，已全面通过国家科技部验收，标志着该项目产业化生产技术已经成熟。
以此为依托，2005年底，中硅高科公司进行
河南省洛阳中硅高科公司年产1000吨多晶硅扩建项目第一炉产品日前顺利产出，扩建项目总投资为4亿元，为洛阳市打造硅产业基地夯实了基础。2003年6月，中硅高科公司年产300吨多晶硅项目开工兴建，该项
设计要求，此后随着该生产线装备的多台还原炉的循环运行和稳定生长，多对棒、大直径产品将陆续出炉，标志着该工程由投产、试生产直接转入稳定生产阶段。截止6月11日，该生产线已经生产合格多晶硅10余吨
棒节能型多晶硅还原炉”技术和国家“十一五”科技支撑计划中正在研发的技术，设计采用了自成体系的12对棒还原炉和24对棒还原炉技术，单炉设计产量可分别达到1200kg和4000kg以上，是一个“物料综合
一、 项目简介
在半导体材料多晶硅的生产中，必须先在氢还原炉中设置硅棒，然后制得产品多晶硅。这种硅棒的初始直径很细，一般为φ5－10mm，经氢还原，硅在硅棒上沉积，硅棒的最终直径越来越大
，最粗可达φ200mm。
目前，在半导体材料多晶硅生产中，采用的氢还原炉的进气口的截面积是固定的，只能适用于物料流量变化较小的小产率的生产工艺。为了获得最佳的生产效率，必须采用恒沉积厚度的生产工艺，即
洛阳中硅高科公司——中国最大的硅材料生产基地 洛阳中硅高科技有限公司是洛阳单晶硅有限公司、洛阳金丰投资管理有限公司、中国有色工程设计研究总院三家股东共同出资组建的高科技企业，成立于2003年3月，注册资本金6600万元。 中硅高科承担的“国家863计划”—24对棒节能型多晶硅还原炉成套装置项目研制。
上，经干燥后放入炉中，在氢气中进行还原，一般衬底温度先保持在250℃-300℃之间，硝酸盐分解为氧化物，氧化铜还原为铜，然后再提高温度到550C，氧化钢还原这In，从而获得Cu-In合金膜。控制溶液中
的纯度大部分仍在6N到7N，价格依其品位约在10一20美元／kg。目前半导体工业用的投炉多晶硅料是采用三氯氢硅精馏法（西门子法）生产的，采用改进的西门子法并扩大规模进行生产是未来降低成本的有效措施之一
潜力。2．1．1单晶硅材料 单晶硅材料制造要经过如下过程：石英砂一冶金级硅一提纯和精炼一沉积多晶硅锭一单晶硅一硅片切割。 硅主要以siO2形式存在于石英和砂子中。它的制备主要是在电弧炉中用
当今广泛应用的改良西门子法。该方法通过采用大型还原炉，降低了单位产品的能耗；采用SiCl4氢化和尾气干法回收工艺，明显降低了原辅材料的消耗，所生产的多晶硅占当今世界生产总量的70~80%。 2.2 硅
%au(jn'qRvl 在第二次世界大战期间美国杜邦公司采用锌（Zn）还原SiCl4制出多晶硅，供美国的电子公司生产高频二极管 ，但用途未扩大 。m# ]t&Dl 1953
专项。 为提高电子级高纯硅材料的生产效率、降低生产成本，该专项将重点开展改良西门子法生产过程中还原炉系统、氢化系统、尾气干法回收系统，以及全过程自动化控制技术等关键技术和装备的产业化，使还原炉单炉产量
