等离子光学

%的目标迈进。除了扩充量产的PECVD设备，此次交易项目亦包含采用反应式等离子态技术的新式物理镀膜设备，该设备是量产23%高转换效率双面异质结(HJT)太阳电池的关键设备，可提供导电性更佳、光学特性更好

成果，尤其在光伏器件高精度光电仿真方面形成特色。他于2011年率先报道基于频域和三维空间的表面等离子太阳电池光电仿真模型。该模型引入光学、半导体材料和电动力学等机制，通过在频域和三维空间中开展电磁学和
近年来，新技术、新结构和新材料体系的大量引入，光伏器件呈现愈加复杂的多学科融合特征，给掌握其核心原理、有效设计和控制器件工作过程带来挑战。 然而，长久以来，光伏器件的设计限于纯光学预测或稍进一步的

，尤其在光伏器件高精度光电仿真方面形成特色。他于2011年率先报道基于频域和三维空间的表面等离子太阳电池光电仿真模型。该模型引入光学、半导体材料和电动力学等机制，通过在频域和三维空间中开展电磁学和载流子输运
近年来，新技术、新结构和新材料体系的大量引入，光伏器件呈现愈加复杂的多学科融合特征，给掌握其核心原理、有效设计和控制器件工作过程带来挑战。然而，长久以来，光伏器件的设计限于纯光学预测或稍进一步的低维

成果，尤其在光伏器件高精度光电仿真方面形成特色。他于2011年率先报道基于频域和三维空间的表面等离子太阳电池光电仿真模型。该模型引入光学、半导体材料和电动力学等机制，通过在频域和三维空间中开展电磁学和
近年来，新技术、新结构和新材料体系的大量引入，ink"光伏器件呈现愈加复杂的多学科融合特征，给掌握其核心原理、有效设计和控制器件工作过程带来挑战。然而，长久以来，光伏器件的设计限于纯光学预测或稍

，消耗原材料极少，通常厚度为1-2m，但是硅对太阳光充分吸收的光学厚度为180m，所以薄膜太阳能电池的吸收层并不能实现对光的全部吸收，造成电池的光电转换率较低。薄膜太阳能电池因为其自身厚度的问题，并不
金属银颗粒的电池，其图像是典型的法布里帕罗振荡。 从电场图中可以看出：TiO2颗粒因为散射可以形成一种电介质光栅降低光的反射；而金属银颗粒因为散射不仅可以形成一种金属光栅，而且表面的等离子体的近场增强

太阳能电池，消耗原材料极少，通常厚度为1-2m，但是硅对太阳光充分吸收的光学厚度为180m，所以薄膜太阳能电池的吸收层并不能实现对光的全部吸收，造成电池的光电转换率较低。薄膜太阳能电池因为其自身厚度的问题
：TiO2颗粒因为散射可以形成一种电介质光栅降低光的反射；而金属银颗粒因为散射不仅可以形成一种金属光栅，而且表面的等离子体的近场增强作用在银颗粒边缘仍然有效。2、结果与讨论图6所示的是TiO2、SiO2和

-空穴对的复合、硅表面的光反射等都会影响电池的转换效率。 总体来说，可将影响晶体硅太阳电池转换效率的因素总结为两大类：光学损失和电学损失。（1）光学损失，包括材料的非吸收损失（即硅材料的光谱响应特性
）、硅表面的光反射损失以及前栅线电极的遮挡损失。（2）电学损失，包括半导体表面及体内的光生载流子（电子-空穴对）的复合损失、半导体与金属电极接触的欧姆损失。光学损失和电学损失中的欧姆接触损失非常容易

的光反射等都会影响电池的转换效率。总体来说，可将影响晶体硅太阳电池转换效率的因素总结为两大类：光学损失和电学损失。（1）光学损失，包括材料的非吸收损失（即硅材料的光谱响应特性）、硅表面的光反射损失以及前
栅线电极的遮挡损失。（2）电学损失，包括半导体表面及体内的光生载流子（电子-空穴对）的复合损失、半导体与金属电极接触的欧姆损失。光学损失和电学损失中的欧姆接触损失非常容易理解，而光生载流子复合损失

复合、硅表面的光反射等都会影响电池的转换效率。总体来说，可将影响晶体硅太阳电池转换效率的因素总结为两大类：光学损失和电学损失。（1）光学损失，包括材料的非吸收损失（即硅材料的光谱响应特性）、硅表面
的光反射损失以及前栅线电极的遮挡损失。（2）电学损失，包括半导体表面及体内的光生载流子（电子-空穴对）的复合损失、半导体与金属电极接触的欧姆损失。光学损失和电学损失中的欧姆接触损失非常容易理解，而光生载流子

影响黑硅表面的光学特性，然后在黑硅发射极表面原子层沉积Al2O3，起到优异的表面钝化效果。　　1.引言黑硅表面有纳米级小山峰，反射率很低。通过优化反应离子刻蚀（RIE）工艺的参数来制作黑硅，由于其在很宽
的波段范围内反射率都很低且接受角广而备受关注。除了RIE还有其他制作黑硅的方法，如激光制绒、金属催化湿化学刻蚀、等离子体浸没离子注入等。黑硅在太阳能电池应用中的一个难题是黑硅表面面积增大而导致表面复合