硅薄膜

%：含本征非晶硅薄膜的非晶硅/晶体硅异质结(HIT/HJT)电池由于非晶硅薄膜优秀的钝化效果，转换效率近年在晶硅电池中位居前列，纯HJT电池的实验室转换效率已达到25.11%。 异质结是平台级技术，技术

转换效率突破25%：含本征非晶硅薄膜的非晶硅/晶体硅异质结(HIT/HJT)电池由于非晶硅薄膜优秀的钝化效果，转换效率近年在晶硅电池中位居前列，纯HJT电池的实验室转换效率已达到25.11%。 异质结是
异质结电池则是指p-n结由非晶硅和晶体硅两种材料形成的电池，其中含本征非晶硅薄膜的异质结电池(Heterojunction with Intrinsic Thin-Layer，HIT/HJT，下称

不仅带来了额外的设备投资要求，还对生产电池片的良率和生产效率造成一定程度的影响。 HJT电池优于PERC电池的之处在于非晶硅薄膜的沉积，故也导致了两者制备工艺上最大的不同。虽然PECVD作为沉积镀膜的
200MW产线)。 非晶硅薄膜沉淀设备：HWCVD设备主要厂商为ULVAC;PECVD设备主要供应厂商为梅耶博格、应用材料、理想万里晖、钧石。迈为股份和捷佳伟创已有CVD产品储备，仍在试验中。国内的

，并在电池顶部设计透明导电的TCO薄膜：(1)非晶硅层可有效降低表面悬挂键的密度，从而达到良好的界面钝化作用;(2)TCO薄膜可以实现导电、减少反射、同时保护非晶硅薄膜等重要作用。HJT电池具有开路
电压高、温度系数低、结构对称、能耗低、光照稳定性强、双面发电等优势，从而使得HJT电池具有更强的发电能力;在后续的优化中，HJT与IBC已经有了结合案例，未来与钙钛矿结合也值得期待。 非晶硅薄膜沉积

的平台级技术 自20世纪80至90年代日本Sanyo研发出并确定本征非晶硅薄膜/单晶硅衬底的异质结结构之后，异质结电池(HJT/HIT)的转换效率即在晶硅太阳能电池中位居前列，近期未叠加其他技术的

建设、运营，是北方华创重要客户。 拓日新能：实现光伏全产业链布局，产业链涵盖了非晶硅薄膜电池、晶体硅太阳电池、太阳能应用产品、光伏玻璃和光伏支架等领域，同时拥有太阳能发电投资运营业务。

示意图 资料来源：OFweek行业研究中心 2、HIT电池工艺流程 HIT电池的一大优势在于工艺步骤相对简单，总共分为四个步骤：制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备。 图表2
：HIT太阳能电池工艺流程 资料来源：OFweek行业研究中心 制备的核心工艺是非晶硅薄膜的沉积，其对工艺清洁度要求极高，量产过程中可靠性和可重复性是一大挑战，目前通常用PECVD法制备。 HIT

沉积非晶硅薄膜，综合了晶体硅电池与薄膜电池的优势。 招商证券最近的研报中提到，HIT电池具有高效率、低衰减、低温度系数、高双面率等诸多优势，优势显著存在溢价。 目前海外23%效率的HIT电池价格

关键时期，关注布局N-HJT的电池企业。 事件驱动 上市公司竞相布局 晶体硅异质结太阳电池(HIT/HDT)是在晶体硅上沉积非晶硅薄膜，它综合了晶体硅电池与薄膜电池的优势，具有结构简单、工艺温度低