硅薄膜

异质结是光伏行业的第五次技术革命。相较于传统电池，异质结电池生产工艺步骤大幅减少，主要工艺仅4步，分别为制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备，对应设备为制绒机、HWCVD/PECVD

减少了扩散、刻蚀及烧结 3 个步骤，核心工艺为非晶硅薄膜沉积，PECVD 中非晶硅的生长可以看作是含硅的基团在衬底表面上的扩散与吸附，包括本征非晶硅的沉积与钝化以形成高质量的异质结面钝化层、掺杂非晶硅
沉积(N 型)以形成发射极和背表面场、TCO 沉积以提供高导电率的电荷输运通道。异质结整个生产工艺主要为制绒、非晶硅薄膜沉积、丝网印刷、分选四个步骤。 3、降本空间大 使用

技术路线，是在N型单晶硅片上镀非晶硅薄膜来实现电池的高转换效率。 目前，钧石能源实际量产规模为600MW，后续合作中大规模生产能否顺利进行，存在不确定性。 异质结(HIT/HDT)是N型电池的技术路线
之一，在晶体硅上沉积非晶硅薄膜的独特构成，使其综合了晶硅电池与薄膜电池的优势，是高转换效率光伏电池的热点方向之一。目前行业内关注并研究异质结电池技术的企业有日本松下(量产规模1000MW)、美国

非晶硅薄膜，可谓综合了晶体硅电池与薄膜电池的优势，效率高、无光衰、温度系数低、弱光响应高等诸多优势加身。从转化效率来看，HJT理论效率高达27%以上，实验室效率在26%以上。 然而，从电池企业实际的

。当年5月，其宣布与中科院上海微系统与信息技术研究所、三峡资本，共同建设规划2GW异质结太阳能电池产能项目。 HJT中文名为异质结电池，全称为晶体硅异质结太阳能电池，是在晶体硅上沉积非晶硅薄膜。 该

太阳能电池，是在晶体硅上沉积非晶硅薄膜，综合了晶体硅电池与薄膜电池的优势，是高转换效率硅基太阳能电池的重要发展方向之一。HIT结构就是在晶体硅片上沉积一层非掺杂(本征)氢化非晶硅薄膜和一层与晶体硅掺杂
种类相反的掺杂氢化非晶硅薄膜，采取该工艺措施后，改善了PN结的性能。因而使转换效率达到23%，开路电压达到729mV，并且全部工艺可以在200℃以下实现。 相比于传统的太阳能电池， HIT电池的在效率

薄膜太阳能电池的产品类型主要包括晶体硅薄膜太阳能电池、非晶硅薄膜太阳能电池、铜铟镓硒薄膜太阳能电池和CdTe 薄 膜太阳能电池等。虽然这些太阳能电池占据了柔性薄膜太阳能电池大部分的市场 份额，但这些
太阳能电池的光电转换效率都相对较低，在一个太阳常数条件下 (AM0)，就算是光电转换效率最高的晶体硅薄膜太阳能电池，其光电转换效率也很难突破 25%。 而且材料本身特性对光电转换效率有限制作用，无论是

10GW的异质结电池生产线项目。 山煤国际称，钧石能源HDT技术属于异质结电池技术路线，是在N型单晶硅片上镀非晶硅薄膜来实现电池的高转换效率。 目前，钧石能源实际量产规模为600MW，后续合作中大
规模生产能否顺利进行，存在不确定性。 异质结(HIT/HDT)是N型电池的技术路线之一，在晶体硅上沉积非晶硅薄膜的独特构成，使其综合了晶硅电池与薄膜电池的优势，是高转换效率光伏电池的热点方向之一。目前

，市场空间广阔。 HIT工艺核心在于镀膜，国产设备持续突破：HIT工艺相较于传统电池技术大大简化，只有制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO薄膜沉积、金属化四个步骤，设备价值占比分别为10%、50%、25

。 异质结电池结构和生产工序。异质结电池以N型硅片做衬底，先清洗干净制作金字塔绒面，然后再两侧分别沉积本征非晶硅薄膜，起到钝化硅片两侧悬挂键的作用，然后再接着沉积掺杂非晶硅，制成PN结，PN结就是
光伏电池的发电结构，由于非晶硅薄膜横向导电性不好，如果直接在非晶硅薄膜上印刷电极，会有部分电流无法收集，所以还需要在非晶硅薄膜两侧沉积一层金属氧化物导电层，英文缩写是TCO，说的简单点就是一层透光性很好的