硅薄膜
太阳能电池被发明以来，大致经过了三个阶段。第一代太阳能电池主要指单晶硅和多晶硅太阳能电池，就是现在我们常见的太阳能电池;第二代太阳能电池主要包括非晶硅薄膜电池和多晶硅薄膜电池。第三代太阳能电池主要指
，用于制备P型非晶硅、N型非晶硅和本征非晶硅薄膜。本次募集资金投资项目的实施将助力公司进一步开拓光伏电池片生产设备的产品线，抓住光伏电池技术升级的关键时机抢占光伏电池片的核心生产装备PECVD设备的市场
开启异质结技术的低成本量产时代。 异质结技术自1991年日本三洋公司创造性的将本征非晶硅薄膜应用于异质结电池以来，经历了整整30年的发展。今天，在一大批中国优秀光伏企业的推动下，尤其是华晟500MW异质结电池
，远超之前预期。 HJT技术自1991年日本三洋公司创造性的将本征非晶硅薄膜应用于异质结电池以来，经历了整整30年的发展。今天，在以安徽华晟、迈为、理想万里晖、中环等为代表的一大批中国优秀光伏企业的
(Heterojunction，HJT)： 由两种不同的材料组成，即在晶硅和非晶硅薄膜之间形成PN 结，因此它兼具晶硅电池优异的光吸收性能和薄膜电池的钝化性能。具体是在 N 型晶 体硅片正反两面依次沉积厚度为
5-10nm 的本征和掺杂的非晶硅薄膜，以及透明导电氧化物 (Transparent Conductive Oxide，TCO) 薄膜，从上到下依次形成了 TCO-N-i-N-i-P-TCO 的对称
晶体硅电池结构设计的考虑要素有PN结设计、表面增效措施、电流的导出方式。此外，电池转换效率受制于很多因素，为了尽可能地利用太阳光和降低光生载流子的损失，各种工艺、技术应运而生：表面制绒、表面氯化硅薄膜减反射
、正表面氮化硅薄膜钝化、铝背场、钝化发射极和背面电池技术、量子隧穿氧化层钝化接触等。
目前行业中占绝对主流的电池以P型电池为主，其主要特征是电池的正负电极分别位于电池的不同面(正面或背面)。MWT背
。大部分厂家在考虑技术升级，其中的一种升级方案，就是Topcon结构。 Topcon是一种钝化接触结构，基本原理是在N型硅片背面沉积一层很薄氧化硅，然后再沉积一层重掺杂的多晶硅薄膜，实现背面的钝化接触
电池成本8-12%。预计后续进一步在材料上的创新可以降低耗银至100mg且无需专门开发匹配组件技术; 第二，非晶硅薄膜的透光性能进一步提升，可以提升效率0.2%以上; 第三，新型磁控溅射TCO材料的
电池成本8-12%。预计后续进一步在材料上的创新可以降低耗银至100mg且无需专门开发匹配组件技术; 第二，非晶硅薄膜的透光性能进一步提升，可以提升效率0.2%以上; 第三，新型磁控溅射TCO材料的采用
、非晶硅薄膜沉积设备(PECVD或者Cat-CVD)、TCO膜沉积(PVD或者CVD)、丝印与烧结设备等，目前对应设备投入约4.5亿/GW。
值得注意的是，虽然某些工序/设备名称一样，但是实际区别较大，例如
。在PERC中用来沉积SiNx薄膜与钝化AlOx薄膜，在TOPCon中用来钝化氧化硅薄膜与沉积本征多晶硅薄膜，在HJT中用来沉积非晶硅薄膜，因为沉积的薄膜不同，设备的构成、镀膜速度、投入等存在巨大
