非晶硅

。异质结+钙钛矿叠层路线：效率与稳定性的未来明阳光伏异质结电池本身具备优异的稳定性，其非晶硅薄膜层能高效钝化硅片表面，减少缺陷影响，为叠层结构提供稳固基底。明阳光伏将钙钛矿作为顶电池与HJT底电池叠层

的核心方向。更重要的是，HJT技术在ESG维度展现出天然优势：低碳制造：HJT生产流程仅需4道核心工艺(清洗制绒、非晶硅沉积、TCO制备、丝网印刷)，工序的减少使能耗大幅降低。无污染材料：HJT电池

，本发明涉及一种管式PECVD制备异质结电池的方法及异质结电池，属于太阳能电池技术领域。包括：使用管式PECVD在晶硅衬底正面和背面沉积本征非晶硅层;使用管式PECVD对正面本征非晶硅层进行修复，并在
修复后的正面本征非晶硅层正面制备N型掺杂层;使用管式PECVD对背面本征非晶硅层进行修复，并在修复后的背面本征非晶硅层背面制备P型掺杂层;分别在N型掺杂层正面和P型掺杂层背面制备正面透明导电薄膜层

12月。专利摘要显示，本发明属于太阳能电池技术领域，具体涉及一种硅基背接触异质结太阳电池及其制备方法、电池组件，该硅基背接触异质结太阳电池通过在非晶硅钝化层增加一层超薄掺氧型非晶硅，从而避免沉积非晶硅

:H层、TCO膜层及钝化层，各所述钝化层在所述厚度方向上背离所述硅基底的一侧还凸设有金属电极。本实用新型能够改善电池结构与组件胶膜的粘接力、改善电极栅线连接，同时利用钝化层，与TCO膜层和非晶硅层构成三层渐变折射层，有效的减少电池发电过程中的光学损失。