硅烷气体

使用的材料都有着需要挑战和克服的难题，对于非晶硅锗来说，难题是如何制作大面积均匀的非晶硅锗膜层。作为锗的原料气体锗烷在等离子场中比硅烷更容易分解，这样在大面积制作薄膜时因为锗的含量分布不均匀严重的影响

被工业化所普遍使用的材料都有着需要挑战和克服的难题，对于非晶硅锗来说，难题是如何制作大面积均匀的非晶硅锗膜层。作为锗的原料气体锗烷在等离子场中比硅烷更容易分解，这样在大面积制作薄膜时因为锗的含量分布

进行喷林洗涤，从废气处理塔顶排出中性气体，主要成分是氮气和少量的氢气；氯硅烷水解产生的盐酸和二氧化硅，盐酸与碱反应形成中性水，进一步处理后达标排放；二氧化硅通过压滤固化后运至政府指定垃圾场。以江西赛维
氯氢硅，提纯后再返回还原系统使用；HCl气体送三氯氢硅合成工序；氢气返回还原工序生产多晶硅。整个多晶硅生产系统是一个理想的物料循环、能量回收利用的闭路循环系统。在多晶硅生产过程中，四氯化硅是多晶硅生产

处理塔内用碱性水对废气进行喷林洗涤，从废气处理塔顶排出中性气体，主要成分是氮气和少量的氢气；氯硅烷水解产生的盐酸和二氧化硅，盐酸与碱反应形成中性水，进一步处理后达标排放；二氧化硅通过压滤固化后运至政府
硅，提纯后再返回还原系统使用；HCl气体送三氯氢硅合成工序；氢气返回还原工序生产多晶硅。整个多晶硅生产系统是一个理想的物料循环、能量回收利用的闭路循环系统。 　　在多晶硅生产过程中，四氯化硅是多晶硅

能幸免。多晶硅生产过程中的污染主要来自于副产物四氯化硅。每生产1吨光伏多晶硅同时副产10吨到20吨四氯化硅，且四氯化硅一遇潮湿空气即分解成硅酸和剧毒气体氯化氢，对人体眼睛、皮肤、呼吸道有强刺激性。如此大量且有
%以上的四氯化硅转化为三氯氢硅，整个生产过程采用闭环设计，同时也可减少生产过程中的废气、废液污染。此外，另一些企业也在尝试采用如硅烷法、冶金法等不同生产工艺进行污染副产物控制。王海生表示，目前国内40

的拥有每年200万片2英寸蓝宝石晶片的供应能力的晶片厂； 　　4月11日，宣布投资3500万美元在它位于江西省新余市的马洪工厂建立一条新的2，000吨硅烷气体生产线。 　　赛维LDK以惊人的速度在短短

无定形硅板提高能效的问题，因为它的制造成本低于结晶硅。2010年7月，代尔夫特技术大学的研究人员Gijs van Elzakker通过用硅烷气体制成硅层，提高了无定形硅板的效率。其结果是能效达9%的太阳能电池。(L. Polintan)

2项对已有标准的修改。· 6项新标准包括o 用于光伏行业的硅烷气体规范指南——Document 4797A - New Standard: Guide for Silane (SiH4), Used
Connector Ribbon Characteristicso 用于光伏行业的罐装氨气气体规范指南Document 5033A - New Standard: Guide for Ammonia (NH3

6项新标准和2项对已有标准的修改。 6项新标准包括o 用于光伏行业的硅烷气体规范指南document 4797A - New Standard: Guide for Silane (SiH4
Connector Ribbon Characteristicso 用于光伏行业的罐装氨气气体规范指南document 5033A - New Standard: Guide for Ammonia

近日，赛维LDK太阳能有限公司投资3500万美元在新余高新区的马洪多晶硅料生产基地建设一条硅烷气体生产线，以满足国内半导体、太阳能和平板显示器行业对硅烷气体日益增长的需求。该生产线每年可供应2000