硅烷气体

气体减排目标。海南英利新能源有限公司政治宣传部经理廖振华透露，英利集团正在努力筹备应诉所需材料，将组织有经验的律师组成律师团，积极应诉欧盟委员的反倾销调查。廖振华介绍说，英利集团现已拥有大容量磁悬浮
飞轮储能技术、N型硅高效太阳能电池生产技术、类单晶硅生长及缺陷控制关键技术研究、采用新硅烷法制备高纯硅等四大领先技术，具有从多晶硅生产，硅锭铸造，硅片切割，光伏电池生产，光伏组件制造，应用系统和储能的

四氯化硅不能自然降解，如果将四氯化硅倾倒或掩埋，水体将会受到严重污染，土地会变成不毛之地)。这还不包括大量氯气等其它易燃易爆有毒气体。 每生产1KW太阳能电池板需耗费10Kg多晶硅，产生80Kg以上
生产厂家的四氯化硅少部分以低价卖给下游厂家，一部分存储，一部分则偷偷掩埋。 这还不包括硅片后期处理的其它辅料。如制绒过程中用到的各种强酸强碱溶液、扩散使用的三氯氧磷、PECVD中使用的硅烷等，这些辅材

进一步的冷却。 C、 二级冷凝器：使用冷冻液在此设备内对反应尾气进行更深的冷却，以使反应尾气中的氯硅烷全部变成液体。 D、气液分离器：在此设备内，液体氯硅烷与H2及HCL气体进行分离，氯硅烷从底部进入氯硅烷

就可以将尾气中H2和HCL与氯硅烷通过气液分离器进行分离。分离出来的气体H2和HCL根据企业工艺和设备情况回收至合成车间或是氢化反应器。液体氯硅烷一部分被泵入尾气洗涤塔来洗涤尾气，剩下的均进入汽提塔

Solexel近日在Intersolar上推出了新型硅太阳能电池。Solexel总裁Mehrdad Moleshi介绍这款突破性的超薄光伏电池，它是由三氯甲硅烷气体生产而成。 该公司

将尾气中H2和HCL与氯硅烷通过气液分离器进行分离。分离出来的气体H2和HCL根据企业工艺和设备情况回收至合成车间或是氢化反应器。液体氯硅烷一部分被泵入尾气洗涤塔来洗涤尾气，剩下的均进入汽提塔进一步

分离。分离出来的气体H2和HCL根据企业工艺和设备情况回收至合成车间或是氢化反应器。液体氯硅烷一部分被泵入尾气洗涤塔来洗涤尾气，剩下的均进入汽提塔进一步除去固体杂质。除杂后的氯硅烷进入粗馏塔进行STC

反应器西门子反应器一直是生产半导体级硅的主要工具。工艺采用含有纯硅棒的钟罩反应器，硅棒通过电加热到约1100℃（图3）。TCS和氢气的混合物引入钟罩反应器内，气体反应在棒上形成Si。可以用硅烷替代
。更先进的多尺度详细模型及流程和辐射的详细仿真给出了对工艺的进一步深入了解，减低生产总成本。淀积：流化床反应器流化床反应器包含直径100m的粒状硅籽晶微粒。用硅前驱气体（通常是TCS或硅烷）与氢气一道

硅(Si:H)薄膜。衬底厚度是200m。淀积参数如下：衬底温度170℃；源气体：硅烷(SiH4)，氢 (H2)，二硼烷（B2H6）；SiH4流量1sccm；总气体压强10 mTorr；微波功率600W

反应的气体增加，到达基片表面的反应产物增多，同时压强适当提高，反应室内的等离子体密度增大，反应气体中活性粒子增多，从而得到高沉积速率、高质量的非晶硅薄膜。但当工作压强进一步上升到较高值时，等离子体密度
增加不大，使反应气体活性变弱，电子或离子的平均自由程比较短，将会发生大量电子或离子与原子团(包括SiH4、SiH3、SiH2、SiH、H2、H)之间的碰撞，这种大量的碰撞导致它们之间的聚合，形成(SH2