硅烷气体

公司的一条1500吨/年的生产线。REC的多晶硅确实成本也不是很高，但质量并不算特别好。也有该行业的技术人员撰文称，尽管硅烷法能耗很低，但由于硅烷是一种化学活性很高的气体，所以其产品的合格率并不高，所以

。　　也有该行业的技术人员撰文称，尽管硅烷法能耗很低，但由于硅烷是一种化学活性很高的气体，所以其产品的合格率并不高，所以欧美主流多晶硅厂商并未采用该技术。　　通过硅烷法制多晶硅，可能会遇到质量不够过关的

使用硅烷培养所需数量的硅。NREL的PDIL运营经理BrentNelson表示：这个流程直接从纯含硅气体直接到优质晶体硅薄膜。其中的优势就是能够得到理想的厚度，10微米或更小。

多晶硅就会有10至15吨以上的四氯化硅产出。未经处理回收的四氯化硅是一种具有强腐蚀性的有毒有害液体，四氯化硅一遇潮湿空气即分解成硅酸和剧毒气体氯化氢，对人体眼睛、皮肤、呼吸道有强刺激性。多晶硅制造中的
。据了解，在美国，从安全和运输成本两个方面考虑，年产量达1000吨的多晶硅工厂，四氯化硅会被要求就地转化为三氯氢硅回用到系统中，不能作为副产物对外销售；年产量达3000吨的多晶硅工厂，则要对废弃的氯硅烷

技术参数来看，这是西门子技术的一种变种。传统西门子反应炉中的气体是三氯氢硅，还原反应的温度较高。韩国供应商的反应炉气体采用的是硅烷，反应温度可以设置地相对较低，这大概是英利一直对外表示六九硅业采用的是“全球

大量电能，而且氯化氢纯度难以控制。由陈朝霞研制的一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置，利用尾气中的低温氯化氢液体，通过换热设备，与尾气中另一种需要回收的气体高温氯硅烷液体进行热交换，换热后再
工艺流程清洁环保能力，而且取得良好节能降耗效果，每年可为企业节省1875万元。据了解，目前国际上主流的多晶硅生产方法为改良西门子法。该方法生产过程中，会产生大量的包含氢气、氯化氢和氯硅烷的尾气，这些尾气

倾倒或掩埋，水体将会受到严重污染，土地会变成不毛之地)。这还不包括大量氯气等其它易燃易爆有毒气体。每生产1KW太阳能电池板需耗费10Kg多晶硅，产生80Kg以上四氯化硅。而国内能通过氢化还原闭环工艺
厂家，一部分存储，一部分则偷偷掩埋。这还不包括硅片后期处理的其它辅料。如制绒过程中用到的各种强酸强碱溶液、扩散使用的三氯氧磷、PECVD中使用的硅烷等，这些辅材的消耗不比主材料少。由于太阳电池具有

一些设备制造水平参差不齐，还有许多技术提升工作要做。我国多晶硅的主流生产工艺是改良西门子工艺，少数几个厂家用硅烷法，但产量很少。改良西门子法的核心技术的有四个环节：原料的制备和提纯、还原、氢化、尾气干法
循环后，可全部回收利用，氢化电耗已低于0.6kWh/kg-TCS，是降低成本和解决环保问题的关键技术。尾气干法回收，国内千吨级规模的工厂都有尾气干法回收系统。自主研发的还原尾气干法回收技术，处理气体

厂家用硅烷法，但产量很少。改良西门子法的核心技术的有四个环节：原料的制备和提纯、还原、氢化、尾气干法回收及副产物的回收利用。 　　原料制备已能够满足多晶硅规模化生产，原料提纯一般采用提纯塔，如高效
和解决环保问题的关键技术。 　　尾气干法回收，国内千吨级规模的工厂都有尾气干法回收系统。自主研发的还原尾气干法回收技术，处理气体量已达到30000立方米/小时以上，可供1万吨以上的多晶硅生产系统使用

总投资在10亿元左右，而公认的经济规模应在300MW-500MW。这要求投资方不仅能够筹集足够的初始投资，还应为未来两三年内持续投资做好准备。在供应链组织方面，生产所需的高透光率的超白玻璃、高纯硅烷等都
外，化学气相淀积、真空溅射、激光刻线等特殊工艺以及包括多种特殊气体、高纯水、净化空调系统等在内的厂务支持系统，都需要大量有专业知识背景和实际操作经验的员工。由于目前大量的项目正在兴建，吸引人才的竞争也变得