氢氯化反应
(SiHCl3，或简称的TCS)，一种高度挥发性的液体，作为中间产品。MG 硅被磨成小颗粒与氯化氢(HCl)反应。由此产生低沸点TCS的(31.8摄氏度)，可以相对容易地在较高的精馏塔中纯化。然后，TCS和氢
)反应形成三氯氢硅(SiHCl3)，经进一步分离提纯后进入还原炉与氢气发 生化学气相沉积反应，在硅棒表面形成高纯多晶硅。同时改良西门子法还引入尾气回收和 四氯化硅氢化工艺，实现了生产过程的闭环循环
西门子法主要工艺为三氯氢硅冷氢化、精馏、还原、尾气回收、有一些小的工艺，制氢、氯化氢合成、废气废液的处理、硅棒后处理。这个技术主要的核心是冷氢化和还原，冷氢化技术是上世纪80年代起源于美国，现而今已经有
能源，但随着核电站的迅速发展，也造成了一些危害环境的问题。1979 年3 月28 日，美国哈里斯堡附近的三里岛核电站2 号反应堆发生辐射溢出事故，为防止氢气泡爆炸，数十万人被迫撤离。1986年4 月
人死亡。1955 年8 月末美国洛杉矶光化学烟雾事件是由于汽车排放的废气在阳光照射下发生光化学反应，生成烟雾，损害动植物，使400 老人因此而死亡。1955 年发生的日本富山骨痛病事件是因当地
绝大部分厂家生产的硅料，均采用传统的改良西门子法，这是最为成熟、应用最广泛的工艺技术。 改良西门子法主要原理是，把石英砂放在电炉中冶炼还原制成99%的工业硅粉，再与四氯化硅和氢气反应得到三氯氢硅，经过
资源，却硬要重新花费巨额资金建设无效损耗巨大、爆炸风险的商业加氢站。 氢能源的大量使用将会造成氢气较多的逸散，而氢的还原性强，极易与臭氧层中的臭氧发生反应，将造成更大的臭氧空洞，危及人类的生存环境
绝大部分厂家生产的硅料，均采用传统的改良西门子法，这是最为成熟、应用最广泛的工艺技术。 改良西门子法主要原理是，把石英砂放在电炉中冶炼还原制成99%的工业硅粉，再与四氯化硅和氢气反应得到三氯氢硅，经过
多晶硅转化率低，四氯化硅等副产品污染严重，因而增加了尾气回收和四氯化硅氢化工艺的改良西门子法得以提出。 原料方面，由于目前多晶硅生产主要采用氢气还原三氯氢硅的改良西门子法生产，因而三氯氢硅和氢气的纯度
一般分两步，第一步将工业硅(纯度98%-99%)与无水氯化氢反应得到三氯氢硅(SiHCl3)和氢气，经多级馏化提纯得到气体三氯氢硅(SiHCl3)、二氯二氢硅、或硅烷(SiH4)。 第二步是将上述高纯
。HWCVD 沉积基于热丝对反应气体的热分解，无等离子体对基底的轰击过程，有助于形成高质量、突 变明显的氢化非晶硅/晶体硅界面，HWCVD 能够形成高密度氢原子从而提升钝化效果。此外，HWCVD
