微晶硅膜
光电转换效率高，封装损失少，长期稳定好，提效空间大，技术延展性强，以及与现有PERC电池甚至未来IBC电池技术生产设备兼容等优点，是后PERC时代高效晶硅电池技术升级的最佳选择。
微导长期坚持TOPCon
在TOPCon产线上工艺步骤复杂，生产成本高，以及维护困难等诸多难题，微导专利的PEALD技术集成了绒面钝化，隧穿氧化，多晶硅以及原位掺杂等多个先进工艺技术于同一款设备，创新提出了九道工艺技术路线，使
。 HJT电池微晶工艺 有助提升转换效率 HJT电池是以N型硅片为衬底，在正面依次为透明导电氧化物膜(简称TCO)、N型非晶硅薄膜和本征非晶硅薄膜;在电池背面依次为TCO、P型非晶硅薄膜和本征
清洗、非/微晶硅薄膜沉积、导电膜沉积、丝网印刷等工艺制成，具有转化效率高、低温度系数、无光衰减、双面对称、工艺制程简洁高效等优点，未来可与钙钛矿等叠层进一步提升光电转化效率。在业内已形成共识其将成为继
种，国内客户近30家，其中16家为钙钛矿电池器件研发和量产企业，产品包括板级钙钛矿和钙钛矿-晶硅叠层关键涂膜设备。日前，传来重磅消息：上海德沪开发的全球首套用于大面积钙钛矿太阳能面板制造核心涂膜设备系统
：绿色高效焦化工艺集成技术、CO2捕集运输埋藏资源化利用技术、聚氯乙烯低汞(无汞)清洁生产技术、流化床多晶硅生产、新一代分离膜及膜器等新工艺及装备。稀土：稀土高效分离技术和高端稀土功能材料制备技术
资源。围绕满足区内需求、外送配套，适度布局火电项目。实施传统燃煤机组改造，降低煤耗水耗和污染物排放。
光伏:
完善光伏产业链,围绕满足光伏电站建设需求，支持现有单晶硅、多晶硅生产企业发展太阳能电池
理想万里晖VHF PECVD在微晶硅薄膜制备过程中，具有离子损伤低、沉积速率高、晶化率高等优势，应用微晶-HJT技术，可将目前的HJT电池量产效率提升1.5个点以上，HJT电池即将进入25.5
。 我们的整体规划是22GW，但是我们需要分阶段执行。因为异质结的技术还未到头，还在持续改进中，设备也在持续修改。目前异质结是做非晶硅，但是未来可能会改叠加微晶硅，所以未来设备需要做一些变动。所以着眼于
。可通过氢氟酸或氢等离子体对硅片进行预处理，减少硅片表面的重金属杂质，从而提升少子寿命、提高电池片效率，优化界面钝化效果。 HJT电池膜层优化：非晶微晶相结合 提升非晶硅薄膜的晶化
阶段(经过一年半时间)。 3) 2019 年起，公司与中科院宁波材料所合作研发 TOPCon，目前已实现管式 PECVD 设备、 超薄氧化硅+原位掺杂非晶硅核心材料制备，在抑制非晶硅爆膜、防止电场导
设备： 全套生产线、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、丝网印刷 机、其他炉设备、测试仪和分选机、其他相关设备
电池板/组件生产设备： 全套生产线、测试设备、玻璃清洗设备、结线/焊接设备
、层压设备等
薄膜电池板生产设备： 非晶硅电池、铜铟镓二硒电池CIS/CIGS、镉碲薄膜电池CdTe、染料敏化
电池DSSC生产技术及研究设备
半导体生产设备： 全套生产线、光刻机、刻蚀机、薄膜
