本月，微导再次接到某光伏龙头企业8GW TOPCon专用设备订单，近期微导TOPCon专用设备出货及订单总量已近30GW，全球光伏产业从PERC+到TOPCon的技术升级已经进入快车道!随着产线电池转换效率不断被刷新，TOPCon已经成为光伏高效电池技术产业化升级的主流。
TOPCon电池技术理论光电转换效率高达28.7%，被学术界认为是后PERC时代潜力最高的电池技术，微导再次以其杰出的创新能力，成为行业中提供TOPCon核心工艺设备和整体解决方案的领军企业，助力双碳时代太阳能电池技术的革新。
夸父系列KF15000原子层沉积(ALD)系统
TOPCon电池具有光电转换效率高，封装损失少，长期稳定好，提效空间大，技术延展性强，以及与现有PERC电池甚至未来IBC电池技术生产设备兼容等优点，是后PERC时代高效晶硅电池技术升级的最佳选择。
微导长期坚持TOPCon电池技术相关的先进工艺、装备和量产化整体解决方案创新与开发，早在2019年SNEC光伏展上，微导在全球率先发布了基于原子层沉积为核心的TOPCon高效电池技术(AEPTM技术)。同时，为了解决传统技术在TOPCon产线上工艺步骤复杂，生产成本高，以及维护困难等诸多难题，微导专利的PEALD技术集成了绒面钝化，隧穿氧化，多晶硅以及原位掺杂等多个先进工艺技术于同一款设备，创新提出了“九道工艺”技术路线，使TOPCon电池生产步骤以及生产成本大为减少，为TOPCon电池大规模量产技术提供了可行性。
通过两年多产线验证，电池效率和良率得到快速攀升。微导创新的装备和工艺技术在TOPCon产线表现突出，电池转换效率已超过24.7%, 良率超过97%，进一步提效空间大。微导技术团队与多家行业标杆企业密切合作，共同克服了大量设备、工艺以及产线集成等难点难题，同时积极验证多项进一步提效技术，促进了近期生产规模的快速扩张。
通过量产数据的分析，采用微导工艺和装备技术不仅仅可达到优异的效率和良率，尤其相较于其它后PERC高效电池技术和设备更具有投资少，上线快，维护运营成本低等特点，为光伏行业提供了具有优异性价比的整体解决方案。微导坚持以原子层沉积为核心的高效电池技术(AEPTM技术)迅速赢得市场认可和好评。
随着各大头部电池企业纷纷布局TOPCon电池规模性扩产，微导近期更完善了包括夸父系列ALD钝化膜, 祝融系列PEALD隧穿氧化膜以及原位掺杂多晶硅膜，羲和系列硼扩，退火等关键工艺技术在内的全核心装备TOPCon产线整体解决方案，可以强有力的保障电池生产线对效率和良率的追求，极大的降低了下游客户在电池技术转型过程中面临的投资和产出的风险，助力全球光伏产业高效电池技术升级。
羲和XH10000低压扩散炉系统(左)
祝融系列ZR5000×2管式PEALD系统(右)
微导首席技术官黎微明博士表示：当前微导正与多个客户专家团队密切合作，通过技术创新，在现有产线效率基础上力争明年上半年将产线效率提升至25%以上。相信近一两年，TOPCon技术会快速普及。几年前光伏行业常规电池转型PERC成就了微导的快速成长，期待微导再接再厉，服务好客户和市场需求，为当前光伏产业高效电池技术升级再次贡献一份微导力量!
责任编辑：周末
