微晶硅膜

异质结电池的生产工艺主要包括非晶硅层沉积、导电膜沉积、表面金属化、低温烧结等过程。其中，金属化工艺是异质结电池制备过程中最为关键的环节之一，不但要保证与硅界面有高的粘结强度和低的接触电阻，同时要为电流
输出提供高导通路，是决定电池转化效率和成本高低的主要影响因素之一。 与传统晶硅电池生产工艺不同，异质结技术全部制程采用低温工艺，决定了其电极的制备工艺的不同。在电池制造商积极布局异质结技术的背景下

电池量产发挥出重大作用。在目前主流量产技术的PERC电池上，微导推出的全新单面钝化镀膜技术结合臭氧新工艺方案，可以将量产效率提高0.1%，背膜产能提升20%，单机产能提升近一倍，超过10000片/小时
功能。 采用微导专利PEALD技术制备的SiO2遂穿层及原位参杂多晶硅技术具有较高的iVOC (730mv)和良好的少子寿命(1.7 ms), 显示出ALD是在今后的PERC升级TOPCON技术

硅片晶圆生产设备： 全套生产线、切割设备、清洗设备、检测设备、其他相关设备 电池生产设备： 全套生产线、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、丝网印刷 机、其他炉设备、测试仪和分选
机、其他相关设备 电池板/组件生产设备： 全套生产线、测试设备、玻璃清洗设备、结线/焊接设备、层压设备等 薄膜电池板生产设备： 非晶硅电池、铜铟镓二硒电池CIS/CIGS、镉碲薄膜电池CdTe、染料敏化

、渔光互补、农光互补等项目上。 据了解，汉能SHJ电池采用隆基高质量n型硅片为底材，融合汉能的薄膜太阳能技术，用非晶硅氧和硅碳合金薄膜作为钝化层，以微晶 硅氧合金材料作为窗口层，显著提高了开路
电压和短路电流，实现SHJ电池转换效率的稳步突破。同时，汉能SHJ电池所采用的ITO材料透明导电膜和丝网印刷电极，成本低、易采购，在降低量产成本、开拓市场等方面有着非常明显的优势。目前，汉能自主研发的SHJ技术，已经在四川双流实现量产，该技术同时具有高效和低成本优势，核心薄膜沉积设备已经完全实现国产化。

、农光互补等项目上。 据了解，汉能SHJ电池采用隆基高质量n型硅片为底材，融合汉能的薄膜太阳能技术，用非晶硅氧和硅碳合金薄膜作为钝化层，以微晶硅氧合金材料作为窗口层，显著提高了开路电压和短路电流

材，融合汉能全球领先的薄膜太阳能技术，用非晶硅氧和硅碳合金薄膜作为钝化层，以微晶硅氧合金材料作为窗口层，显著提高了开路电压和短路电流，实现SHJ电池转换效率的稳步突破。同时，汉能SHJ电池所采用的
首席技术官李沅民博士和徐希翔博士带领下，在非晶硅、微晶硅和透明导电氧化物薄膜领域实现了大量创新和经验积累。研发团队从一开始就以SHJ技术的大规模工业量产为目标，在量产设备上直接进行SHJ太阳电池的研发

薄膜太阳能技术，用非晶硅氧和硅碳合金薄膜作为钝化层，以微晶硅氧合金材料作为窗口层，显著提高了开路电压和短路电流，实现SHJ电池转换效率的稳步突破。同时，汉能SHJ电池所采用的ITO材料透明导电膜和

、检测设备、其他相关设备 电池生产设备： 全套生产线、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、丝网印刷 机、其他炉设备、测试仪和分选机、其他相关设备 电池板/组件生产设备： 全套生产线、测试
设备、玻璃清洗设备、结线/焊接设备、层压设备等薄膜电池板生产设备： 非晶硅电池、铜铟镓二硒电池CIS/CIGS、镉碲薄膜电池CdTe、染料敏化 电池DSSC生产技术及研究设备 B、光伏电池

本文摘要 在晶体硅太阳能电池中，金属-半导体接触区域存在严重的复合，成为制约晶体硅太阳能电池效率发展的重要因素。隧穿氧化层钝化金属接触结构由一层超薄的隧穿氧化层和掺杂多晶硅层组成，可以显著降低金属
太阳能电池被开发，如 PERC、IBC、HIT、TOPCon等，同时太阳能电池转换效率越来越接近其理论极限。纵观单晶硅太阳能电池世界效率纪录的提升历史，会发现效率提升有三个比较快速的时期。前两个分别