干法清洗

氯氢硅沸腾床加压合成炉，三氯氢硅水解凝胶处理系统，三氯氢硅粗馏、精馏塔提纯系统，硅芯炉，节电还原炉，磷检炉，硅棒切断机，腐蚀、清洗、干燥、包装系统装置，还原尾气干法回收装置；其他包括分析、检测仪
水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅锭的外表部分和金属杂质聚集的部分后，将硅锭粗粉碎并清洗，并在等离子体熔解炉中去除硼杂质，然后二次区熔单向凝固成硅锭，再次除去外表部分和金属杂质聚集的部分然后粗粉碎和清洗

升级，产品种类日益丰富，服务水平显著提高，初步形成了门类较为齐全的产业体系。在节能领域，干法熄焦、纯低温余热发电、高炉煤气发电、炉顶压差发电、等离子点火、变频调速等一批重大节能技术装备得到推广普及
干法余热回收利用、乏汽与凝结水闭式回收、螺杆膨胀动力驱动、基于吸收式换热的集中供热等技术和设备；大力推广高效换热器、蓄能器、冷凝器、干法熄焦等设备。节能仪器设备。加快研发和应用快速准确的便携或车载式能效

机，硅片自动分选机等关键生产设备。支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（PECVD）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和

组件保持清洁，延长寿命的涂层专为售后市场使。该产品显着降低了干法除尘常在向阳面造成的积灰，这有助于提高光伏电池的光传输，提高整体输出功率。数据已经显示， 3M防污液涂覆的模块比未涂层的模块产生百分之五到十更多
的能量。 3M防污液专为使用期间定期清洗和维护。液体是水性的很容易用手工工具使用，对环境和使用者安全，是建议应用的技术。 3M公司进行了广泛的测试，该产品在实验室及户外都

中的一个可靠工具。综上所述，干法刻蚀是太阳电池制作过程中用到的基本工艺过程之一，利用干法刻蚀可去除不需要的材料层或者形成台阶，且具有各向异性刻蚀、刻蚀速率高、选择性好等优点。5.2典型的刻蚀清洗设备

区别以及逆变器的概念，将知识串连起来以便读者学习和了解。晶体硅太阳能电池的制造工艺流程晶体硅太阳能电池的制造工艺流程说明如下：(1)切片：采用多线切割，将硅棒切割成正方形的硅片。(2)清洗：用常规的硅片
清洗方法清洗，然后用酸(或堿)溶液将硅片表面切割损伤层除去30-50um。(3)制备绒面：用堿溶液对硅片进行各向异性腐蚀在硅片表面制备绒面。(4)磷扩散：采用涂布源(或液态源，或固态氮化磷片状源)进行

机，硅片自动分选机等关键光伏生产设备。支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（PECVD）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能光伏电池片生产线设备和PECVD等薄膜太阳能光伏电池生产设备。促进光伏生产装备的低能耗、高效率、自动化和生产工艺一体化。

、低能耗、全自动单晶炉，吨级多晶硅铸锭炉，大尺寸、超薄硅片多线切割机，硅片自动分选机等关键生产设备。支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（PECVD）、激光刻蚀机、干法刻蚀机

，大尺寸、超薄硅片多线切割机，硅片自动分选机等太阳能硅片关键生产设备。支持多槽制绒清洗设备，全自动平板式PECVD，激光刻蚀机，干法刻蚀机，离子注入机，全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备

单晶炉，吨级多晶硅铸锭炉，大尺寸、超薄硅片多线切割机，硅片自动分选机等太阳能硅片关键生产设备。支持多槽制绒清洗设备，全自动平板式PECVD，激光刻蚀机，干法刻蚀机，离子注入机，全自动印刷机、快速烧结炉等