干法清洗
（PECVD）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机等晶硅电池片生产线设备，大面积TCO导电玻璃镀膜设备、用于背电极制备的多靶位磁控溅射系统，以及大尺寸、超薄硅片多
）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机等晶硅电池片生产线设备，大面积TCO导电玻璃镀膜设备、用于背电极制备的多靶位磁控溅射系统，以及大尺寸、超薄硅片多线切割机、自动
电池片工艺流程：制绒(INTEX)→扩散(DIFF)→后清洗(刻边/去PSG)→镀减反射膜(PECVD)→丝网、烧结(PRINTER)→测试、分选(TESTER+SORTER)→包装(PACKING
KOH;H2SO4是为了让硅片在流水线上漂浮流动起来，并不参与反应。
干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀。当气体以等离子体形式存在时，一方面等离子体中的气体化学活性会变得相对较强，选择合适的气体，就可以让
索比光伏网讯:电池片工艺流程:制绒(INTEX)扩散(DIFF)后清洗(刻边/去PSG)镀减反射膜(PECVD)丝网、烧结(PRINTER)测试、分选(TESTER+SORTER)包装
。干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀。当气体以等离子体形式存在时，一方面等离子体中的气体化学活性会变得相对较强，选择合适的气体，就可以让硅片更快速的进行反应，实现刻蚀；另一方面，可利用电场对等离子体进行引导
推动传统产业改造升级，加快培育壮大战略性新兴产业和先进制造业，推进90个超亿元工业项目、50个重大产业升级项目建设。制糖、电解铝、火电、新型干法旋窑水泥、林板等资源型行业全面推行循环经济模式。钦州港
热电联产机组，鼓励采用清洁高效、大容量超超临界燃煤机组。推广气化小油枪、等离子无油点火、低负荷稳燃技术。冶金行业：推广高温高压干法熄焦技术、纯烧高炉煤气锅炉技术、燃气蒸汽联合循环发电技术、煤粉催化强化燃烧
9.2万吨、日用陶瓷2300万件。广西各市着力推动传统产业改造升级，加快培育壮大战略性新兴产业和先进制造业，推进90个超亿元工业项目、50个重大产业升级项目建设。制糖、电解铝、火电、新型干法旋窑水泥、林
高温高压干法熄焦技术、纯烧高炉煤气锅炉技术、燃气—蒸汽联合循环发电技术、煤粉催化强化燃烧技术等。有色行业：电解铝行业要推广大型预焙电解槽技术，重点推广新型阴极结构、新型导流结构、高阳极电流密度超大型
2017SNEC国际太阳能产业及光伏工程(上海)展，在上海浦东新国际博览中心如火如荼地进行中，宝群电子携超声波硅片插片清洗一体机、全功能硅片插片机、机械臂总成系统实力亮相，并与比太科技有限公司签订
科技是一家专注新一代高效太阳能电池装备研发和制造的企业，这次能和宝群电子在光伏展上达成合作关系感到非常高兴。比太发布的RIE干法制绒设备，拥有多项自主知识产权，能够实现多晶硅电池20%的转换效率。相信
量，降低多晶电池片的光反射率以推升转换效率。故金刚线切搭配黑硅技术的工艺，能同时兼顾硅片端降本与电池片端提效两方面。
目前黑硅技术主要分成干法制绒的离子反应法(Reactive Ion
市场接受，然而其机台价格昂贵，让不少欲进入者踌躇不前。湿法MCCE方面，虽然机台价格远低于干法制绒，但现有技术尚未成熟，容易导致外观颜色不均、转换效率较低、废液难以回收等议题，目前仍无法解决。
因此
黑硅技术的工艺，能同时兼顾硅片端降本与电池片端提效两方面。目前黑硅技术主要分成干法制绒的离子反应法（Reactive Ion Etching，RIE）技术，以及湿法制绒的金属催化化学腐蚀法（metal
，虽然机台价格远低于干法制绒，但现有技术尚未成熟，容易导致外观颜色不均、转换效率较低、废液难以回收等议题，目前仍无法解决。因此，近两年黑硅的产能扩充将不如PERC当年迅速。不过，为抵御单晶产品步步进逼
同时兼顾硅片端降本与电池片端提效两方面。目前黑硅技术主要分成干法制绒的离子反应法（Reactive Ion Etching，RIE）技术，以及湿法制绒的金属催化化学腐蚀法（metal Catalyzed
低于干法制绒，但现有技术尚未成熟，容易导致外观颜色不均、转换效率较低、废液难以回收等议题，目前仍无法解决。因此，近两年黑硅的产能扩充将不如PERC当年迅速。不过，为抵御单晶产品步步进逼，多晶电池片厂商也
