干法清洗

端降本与电池片端提效两方面。目前黑硅技术主要分成干法制绒的离子反应法(Reactive Ion Etching，RIE)技术，以及湿法制绒的金属催化化学腐蚀法(metal Catalyzed
Chemical Etching，MCCE)。以现有设备来看，RIE技术因效率提升较高、已有量产实绩等因素较被市场接受，然而其机台价格昂贵，让不少欲进入者踌躇不前。湿法MCCE方面，虽然机台价格远低于干法制绒

能力。（6）配套产业和生产性服务业：推动国家风电设备质量监督检验中心酒泉实验室尽快投用，积极引进光伏设备光电场运行检测检验项目和北京太阳能研究所集团公司太阳能光伏板机器人清洗项目，支持敦煌光伏部件野外
。（2）光伏发电装备项目：引进和建设大功率储能蓄电池制造、超白玻璃制造、电池片、逆变器、汇流箱生产和光伏支架加工及电池板清洗维护设备制造等项目。（3）光热发电装备项目：加快引进和建设光热发电支架制造

的清洗要求、丝网印刷前的激光刻蚀精准度要求很高，因此短期内无进一步扩产计划。天合还对IBC电池做成组件的耐候性和衰减率进行了研究：最大功率在热循环试验400次（TC400）、湿冻试验10次循环
对光的吸收（这就是看上去黑色的原因）；另一方面，通过二次刻蚀来降低表面复合，从而将常规电池的转换效率绝对值提高0.5~0.6%。黑硅电池的刻蚀技术分为两类，干法和湿法。干法包括：RIE（Reactive

。主要是对硅片的清洗要求、丝网印刷前的激光刻蚀精准度要求很高，因此短期内无进一步扩产计划。天合还对IBC电池做成组件的耐候性和衰减率进行了研究：最大功率在热循环试验400次（TC400）、湿冻试验10
反射率，增加对光的吸收（这就是看上去黑色的原因）；另一方面，通过二次刻蚀来降低表面复合，从而将常规电池的转换效率绝对值提高0.5~0.6%。黑硅电池的刻蚀技术分为两类，干法和湿法。干法包括：RIE

二十多年产业经验，拥有多行业认可的自动化、装配及交钥匙项目领先技术平台。产品及服务有：适合于半导体、光伏行业的高温氧化扩散设备、PECVD镀膜设备、湿法清洗设备、硅片自动装篮机、硅片自动倒篮机、硅片石墨
舟上下料自动化设备、石英舟自动装卸舟系统、硅片前后清洗设备自动化上下料机、组件焊接设备、自动流水线等;适合于实验室的：高端实验室装备、高纯流体工艺系统、制药用水分配系统;适合于电池制造的精密涂布

公斤，而且将铸锭能耗降到了5千瓦时/公斤以下，而且提高了可切片率，铸锭成本比目前国际上最先进的多晶硅铸锭炉低40%以上。而硅片和电池片方面，上海普罗所开发的干法刻蚀技术，不仅降低了硅片清洗和制绒成本
了变化。首先是组件层压等设备，开始国产化，并形成了诸如秦皇岛这样的产业集聚区，然后，是硅片清洗、扩散炉、丝印机、烧结机等电池片生产设备的国产化，再后来就是铸锭炉、开方机等硅片生产设备的国产化。从短短几年的

率，铸锭成本比目前国际上最先进的多晶硅铸锭炉低40%以上。而硅片和电池片方面，上海普罗所开发的干法刻蚀技术，不仅降低了硅片清洗和制绒成本，而且还免除了酸液的处理和排放，更为环保和清洁;此外，上海普罗所
的设备都是依赖进口。但两三年后，这种现象就发生了变化。首先是组件层压等设备，开始国产化，并形成了诸如秦皇岛这样的产业集聚区，然后，是硅片清洗、扩散炉、丝印机、烧结机等电池片生产设备的国产化，再后来

净化领域的专长、经验和研发实力，与CERAM公司的催化剂研发优势相结合，搭建联合研发平台，就催化剂在我国特定行业的配方优化、清洗再生和性能检测以及运行管理方案等相关领域进行合作研发，从而为我国的减排
国际合作环境工程技术研究中心等诸多研发机构，拥有SCR、SNCR脱硝技术和干法、半干法、湿法脱硫技术，在我国建材行业烟气净化技术及工程领域处于领先水平。

，伴随光伏产业的发展，世界各国均对该技术进行二次创新，如中硅高科突破了大型低温氢化技术、大型节能还原炉技术、高效加压精馏提纯技术、高效加压三氯氢硅合成技术、尾气干法回收技术、四氯化硅生产气相白碳黑技术和
聚集的部分和外表部分后，进行粗粉碎与清洗，在等离子体融解炉中往除硼杂质，再进行第二次水平区熔单向凝固成硅锭，往除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分，经粗粉碎与清洗后，在电子束融解炉中往除磷和碳