干法清洗

发展，世界各国均对该技术进行二次创新，如中硅高科突破了大型低温氢化技术、大型节能还原炉技术、高效加压精馏提纯技术、高效加压三氯氢硅合成技术、尾气干法回收技术、四氯化硅生产气相白碳黑技术和热能综合利用
部分和外表部分后，进行粗粉碎与清洗，在等离子体融解炉中往除硼杂质，再进行第二次水平区熔单向凝固成硅锭，往除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分，经粗粉碎与清洗后，在电子束融解炉中往除磷和碳杂质

，伴随光伏产业的发展，世界各国均对该技术进行二次创新，如中硅高科突破了大型低温氢化技术、大型节能还原炉技术、高效加压精馏提纯技术、高效加压三氯氢硅合成技术、尾气干法回收技术、四氯化硅生产气相白碳黑技术和
形成800吨/年的生产能力，全量供给SHARP公司。 　　主要工艺是：选择纯度较好的产业硅（即冶金硅）进行水平区熔单向凝固成硅锭，往除硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分后，进行粗粉碎与清洗，在等离子体

先进高纯硅生产工艺和设备基础上，加快消化吸收提升改良西门子工艺技术，掌握和完善还原炉、氢化系统和尾气干法回收系统及全过程自动控制等关键技术。开发冶金法制备多晶硅材料、高纯石英砂制备太阳能级多晶硅等低成本
： 关 键 技 术 1．低成本、低能耗、高质量高纯多晶硅材料制备技术与设备。 2．非晶硅/微晶硅、碲化镉、铜铟镓硒等薄膜太阳能电池。 3．太阳能光伏电池清洗

、多晶硅电池片平均效率分别可达17%和15.8%。 决定电池效率的因素主要分散在电池生产的各道工艺环节当中，从硅棒生长、切割，到电池的制备。就电池制备而言，又先后经历制绒清洗、扩散、镀膜
、丝网印刷和烧结等工艺。 制绒清洗工艺是以湿法工艺为主，设备不贵，槽式批次式生产。在线连续式生产设备目前主要依靠进口，价格昂贵，但可节约生产材料。 扩散工艺以管式扩散炉为主，也

3000吨，浇铸多晶硅产量接近1000吨。我国在电池产业链的设备制造方面已有部分替代进口：中国电子科技集团公司第48所和七星华创的扩散炉、西安理工大学的单晶炉、清洗台、封装成套设备均已达到世界水平
，1957年开始大规模工业生产，在生产多晶硅厂中采用西门子法工艺的工厂最多。改良西门子法是在传统西门子法工艺基础上发展起来，主要包括氢化、精馏提纯、还原及尾气干法回收。其流程特点是采用闭路循环系统，用氢