低压扩散
高效多晶硅PERC电池的工艺流程;同时还给出了非PERC电池的工艺流程用于对比。在完成CSI具有知识产权的最先进 黑硅制绒( 金属催化化学刻蚀-MCCE)步骤之后，将电池放到管式炉中进行低压
POCl3扩散以形成n+-Si发射极。然后在下一步移除磷硅酸盐玻璃(PSG)和清除电池背面。
图一：分别展示了传统多晶硅电池(左)和CSI的高效多晶硅PERC电池(右)的工艺流程。
使用原子层沉积
摘要：随着高效晶硅太阳电池技术的发展，低压扩散工艺以其均匀性好，产量大，成本低的优势，成为未来发展的主要方向。对低压扩散工艺进行优化研究可以提高扩散均匀性，从而提升晶硅电池光电转换效率。 PN结
线路避雷器批量应用。
为推进电能代替，研发了高压大容量变频电源、低压大容量岸基供电系统、船岸连接设备等核心产品体系，并开发现场监控系统、岸电运行平台等配套软件，能够提供港口岸电的一体化
南瑞引领的跨越，南瑞的品牌标志已经成为一道道靓丽的蓝色风景线。
以扩展为思维导向
著名经济学家阿瑟说过，在实现了技术突破之后还要不断地扩散，直至整个经济体系都能适应新的技术。把这句话与南瑞
包括常规扩散、低压扩散和共扩散。成本方面，n-PERT电池与晶硅无关的部分成本与p-PERC基本相同，但N型硅片价格较P型高出约10%，且n-PERT双面电池涉及两次结节，银浆消耗量也近乎翻倍，故其
主要工艺流程包括9个方面:一是去切割损伤和制绒生成金绒面，在此工艺环节所用到的主要设备为捷佳创单晶槽式制绒;二是扩散生成PN结，在此工艺中所涉及设备为Tempress扩散炉、R2D自动化、捷佳创低压
精准度，生产节拍最快可达0.5秒，而且对位精准，为目前市面上产能最高、质量最好的产品之一。
此外，目前光伏市场的高效化趋势明显，各类高效电池发展迅速。在这方面，奇元裕的扩散炉管等产品可满足未来半片
、双面、N型等新型电池片的制造需求。特别是奇元裕重点推出的荷商Tempress低压化学气相沉积设备(LPCVD)和Topcon相关工艺整合解决方案，在国内的市占率为业内第一。Tempress的LPCVD
新型螺旋式设计，以提高换热能力和达到堆内自然循环目的。 铅作为一种高沸点冷却剂所带来的协调作用，不可低估：中子经济、低压系 统，安全、简化、经济、防扩散能力等。在ADS研究中发现铅具有吸附和抑制
众多厂房业主的用电价格在0.7元左右，此一轮价格战后分布式光伏电站建设成本将会降低到3.5元的水平(低压接入)，对于此类厂房业主自建光伏电站的收益已经十分可观，阻碍平价化应用的主要原因是用电需求和发电
系统性金融风险扩散;另一方面国家收购回来的电站可以不要补贴缓解存量补贴缺口巨大的问题。而且随着组件价格不断降低和效率不断提升，几年后把这部分老电站的组件板升级更换一下便可以实现不要补贴的平价上网。
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Tempress扩散炉、R2D自动化、捷佳创低压扩散炉;三是边缘刻蚀和去磷硅玻璃，此环节需要仪器SCHMID刻蚀机、SCHMID自动动化仪器;四是背钝化在硅片背面沉积三氧化二铝膜和氮化硅膜，此环节需
龙头，北京北方华创微电子装备有限公司(简称：北方华创微电子)是我国光伏装备骨干企业，也是负压扩散的行业标准制定者，产品覆盖硅材料设备、电池片生产设备和质量流量计等等，其中低压扩散炉、全自动单晶炉等产品
