低压扩散
目前TOPCon 生产的主流工艺
目前 TOPCon 电池有 4 种不同的工业化工艺流程，分别为：LPCVD 制备多晶硅膜结合传统的全扩散工艺;LPCVD 制备多晶硅膜结合扩硼及离子注入磷工艺
技术路线全称为低压化学气相沉积法，该技术优点是工艺成熟、集成度高，成膜质量好，装备产能大，控制简单容易;但难于镀膜速度慢，成膜率低，同时存在二次掺杂、绕镀、石英件沉积严重等问题。LPCVD 技术是各
落实。目前，全国范围已基本实现居民和低压小微企业用电报装三零(零上门、零审批、零投资)服务全覆盖，高压用户用电报装三省(省力、省时、省钱)服务相关任务举措正在有序推动。各地普遍实现了线上报装服务，多个
提问。煤层气资源赋存条件复杂，开发技术难度大，项目经济效益不佳，这是煤层气产业发展面临的主要困难和问题。煤层气属于吸附气，勘探开发工艺技术复杂，钻井压裂后需要半年左右的排水降压、解吸扩散才能产气。不同
全部使用单晶槽式制绒设备、低压软着陆扩散系统、全自动颜色EL(电致发光)检测等，这些均是世界领先的高度自动化设备，其智能化、自动化可升级程度高，便于实现全程智能控制和监控。 在组件环节，晶澳生产基地
生产基地全部使用单晶槽式制绒设备、低压软着陆扩散系统、全自动颜色EL(电致发光)检测等，这些均是世界领先的高度自动化设备，其智能化、自动化可升级程度高，便于实现全程智能控制和监控。 在组件环节，晶澳
设备，有序推进先进储能装置、超级电容器、智能电网用输配电及用户端设备、中低压成套设备研发生产。石油装备领域，着力提高石油油管套管、抽油机、油管、配套接箍等产品质量，加快应用于超深井、高压油、高硫化氢
协同推进的科技成果转移转化机制。加速培育创新孵化器，建设应用示范平台和创新成果产业化中心，培育一批系统解决方案供应商，推动科技成果商业化应用和产业化。建立以市场化机制为核心的成果转移扩散机制，通过孵化
器、智能电网用输配电及用户端设备、中低压成套设备研发生产。石油装备领域，着力提高石油油管套管、抽油机、油管、配套接箍等产品质量，加快应用于超深井、高压油、高硫化氢、大管径等条件的石油装备和零部件的研发制造
孵化器，建设应用示范平台和创新成果产业化中心，培育一批系统解决方案供应商，推动科技成果商业化应用和产业化。建立以市场化机制为核心的成果转移扩散机制，通过孵化企业、种子项目融资等方式，推动科技成果首次
，极大的降低了下游客户在电池技术转型过程中面临的投资和产出的风险，助力全球光伏产业高效电池技术升级。 羲和XH10000低压扩散炉系统(左) 祝融系列ZR50002管式PEALD系统(右
四川
河南
备注：1、农村低压各类用电按上表合计栏电价执行，其中含维管费。2、一户一表居民生活用电二档、三档电价，在一档电价基础上每千瓦时分别提高0.05元和0.3
分钱，单一制用电2.5分钱，核工业铀扩散厂和堆化工厂生产用电降低0.7分钱，抗灾救灾用电降低1分钱;国家重大水利工程建设基金0.1125分钱;大中型水库移民后期扶持资金0.62分钱;可再生能源电价附加
的核心工艺设备。
4) 低压水平硼扩散系统 LRB370/05：可应用于 P 型掺杂，N-PERT 和 N-TOPCon 电池的 P 型发射极工艺，为下一代高效 N-TOPCon 太阳能电池的核心
传统 PERC 工艺中的扩散工艺，是构造异 质结结构的关键，难度、壁垒最高，价值占到全部设备的 50%，为异质结设备的核 心。从技术路径上：板式 PECVD 是目前主流，管式 PECVD
环节，其中高密度安全储运氢是主要的瓶颈问题。周少雄说，氢在通常条件下以气态形式存在, 且易燃、易爆、易扩散，这就给氢的储存和运输带来了很大的困难。
目前，氢气的储运主要分为气态、液态和固态3种方式
。
气态储氢较为常见，可分为低压和高压两种。过去，街头巷尾卖气球的小贩，会载着一个大钢瓶，这就是低压储氢罐。而高压气态储氢最高气压可达70兆帕，目前我国常见的高压储氢气压也达到35兆帕，这就对压力容器
