低压扩散

研究成果，技术革新等。2023年发布的影响因子为6.9。在这项研究中，研究人员采用了低压化学气相沉积技术，通过精确控制沉积工艺，制备了不同结晶态的本征硅薄膜，并随后进行硼掺杂。研究结果表明在较低
温度下沉积得到的非晶硅薄膜可以在硼扩散后实现低接触电阻率(ρc = 0.81 mΩ⋅cm2)和改善的钝化性能(Δi-Voc 10 mV)。这一研究实现了具有优异的钝化性能和低接触电阻的p+

、ABC等新型高效光伏电池片的大规模量产，在光伏电池片核心工艺设备方面利用核心技术应用，通过不断创新持续满足下游客户的多项需求，主要包括：①使用气态硼源，结合低压氛围、高温等特点攻克工艺难题，率先实现硼扩散
于2016年，实际控制人为林佳继。公司是一家领先的高效光伏电池片核心工艺设备及解决方案提供商，主营业务为光伏电池片制造所需高性能热制程、镀膜及配套自动化设备的研发、生产与销售，其中热制程设备主要包括硼扩散

首台光伏用石墨舟/石英舟干法清洗设备，能极大提高流转速度，显著降低生产和人工成本。面向等离子体增强化学气相沉积、低压化学气相沉积工艺，中国电科自主研发的立式平台设备，突破传统结构，采用金属腔室和在线清洗
生产效率。作为我国高端电子制造装备的“国家队”，近年来，中国电科依托在集成电路装备领域的深厚积淀，持续推进产品迭代升级和产业化应用。截至目前，先后推出首台国产铸锭炉、管式PECVD、扩散炉、等离子体刻蚀

低压硼扩散炉等系列高端光伏装备及智能立体仓储系统、车间智能物流系统、工厂数字化系统等智能制造系统解决方案，拥有为行业量身定制“高效电池+智能制造”集成方案和整线交钥匙工程的能力。5月22日(SNEC

及压升率一系列关键技术指标，自创快速冷却技术和柔性炉门专利技术，构建了独特的设备特色，研制了技术水平和量产效果引领行业的新一代大产能低压硼扩散设备，是其在TOPCon赛道继单项冠军PECVD之后获得