丝网印刷工艺
，然后采取两步单独的扩散过程来形成p型区和n型区。第二个关键工艺在于丝网印刷的对准精度问题和印刷重复性问题，因此对电池背面图案和栅线的设计要求非常高，必须在工艺可靠性和电池效率之间找出平衡点。 目前
还将丝网印刷单面N-PERT电池转换效率提升达到22.8%，达到了目前行业内可量产工艺的顶尖水平。近期，泰州中来光电N型单晶双面电池二期正式通线。二期电池工艺规划方向由N-PERT向TOPCon
创新中心IMEC达成深度研发合作，联合开发了平均正面转换效率达到21.9%的工业化双面太阳能电池，双方还将丝网印刷单面N-PERT电池转换效率提升达到22.8%，达到了目前行业内可量产工艺的顶尖水平
。
近期，泰州中来光电N型单晶双面电池二期正式通线。二期电池工艺规划方向由N-PERT向TOPCon & IBC发展。今年上半年，中来光电科研团队再度开创行业先河，将高效TOPCon技术引入N型
、镀膜、丝网印刷工序中使用同样的工艺，使用测试分选机记录的使用3种扩散工艺电池片的电性能参数如表4所示。 由于使用低压扩散工艺一的硅片浅表面参杂浓度较高，其开路电压较低，光电转换效率较常压
成因，利用这些检测手段和分析结果，能够及时有效地反馈生产过程中产生的缺陷类型，有利于生产工艺的改进和质量的控制。
1、引言
在大规模应用和工业生产中,晶硅太阳能电池占主导地位，其在制造过程中通常
光电转换效率，导致公司增加经济损失。利用多种测试设备如EL、PL、corescan等检测硅片、半成品电池及成品电池存在的各种隐形缺陷，改善工艺参数，降低产品的不合格率，为公司提高成品率，大大的降低成本
近日，全球领先的光伏研究机构Imec(比利时微电子研究中心)宣布，最新一代大面积丝网印刷单面nPERT电池的转换效率达到了23.03%，已经通过弗劳恩霍夫太阳能系统研究所认证。Imec表示，预计
今年年底，nPERT技术的效率会达到23.5%，且该技术清晰的路线图指向的最终效率会超过24%。
Imec利用太阳能行业兼容设备和工艺在试生产线上生产了M2尺寸的nPERT电池(面积
异质结电池三大类。其中，N-PERT和N-PERL电池结构简单，效率提升潜力大，可双面发电。目前，英利、中来、林洋、LG等已实现了N型单晶双面高效电池的量产。IMEC近期也宣布，其最新一代大面积单面丝网印刷
高，且制程相对复杂，因此成本高昂。使用工业化技术例如丝网印刷、管式扩散或离子注入来降低IBC电池成本。2018年初，天合光能6英寸IBC电池实现全面积效率高达25.04%。今年8月，黄河水电200兆瓦
摘要 在硅太阳电池的丝网印刷工艺中，金属浆料可以通过一定的工艺形成电极，但存在于电池非印刷区域的金属浆料却会造成电池片的外观不良和漏电缺陷。依据金属银、铝与酸碱的化学反应原理，以降低硅太阳能产业的
PVSEC大会上，Imec宣布，最新一代大面积单面丝网印刷背面发射极nPERT电池的转换效率达到了23.03%，已经通过弗劳恩霍夫ISE研究所认证。
Imec高级研究员Loic Tous指出
，到目前为止，nPERT太阳能技术在业内并未获得应有的关注。
我们不断改进从双面nPERT项目中获得的知识以发挥nPERT技术的潜力。在使用相同设备和增加硼扩散工艺的情况下，与p型PERC电池相比，这种技术
和氮气两种不同环境中、不同退火时间内在PECVD管内完成退火工艺。测试其退火热处理前后载流子少子寿命，并观察其对丝网印刷效率等工艺参数的影响。
2.1实验原料及仪器
实验所选硅片导电类型为P型
确定当退火温度在450℃、退火时间20min时，工艺参数最佳。当温度过高过低均不利于膜厚的增加也不利于形成良好的欧姆接触，且此时光电转换效率较差。折射率的变化却不同，其最大值是在低温下达到的，此时氮气
