11、无定形硅:
对于多晶硅生产者而言,还原生产中的无定形硅是要尽可能避免的,这也曾是生产控制过程中的一个重要的控制指标。通常情况下,无定形硅是三氯氢硅 在反应温度比较低的时候生成的,其对应的生产节点是沉积速度快,生产功率比较低。也正是如此,便在生产过程中出现为了提高产量和降低能耗不对无定形硅采取 控制的生成控制方式。
另外,无定形硅还与物料中的DCS含量有关,DCS含量较高的话也会产生无定形硅,DCS含量特别高的话会产生大量的无定形硅,尤其是后期温度控制比较高时,会在短时间内造成炉内能见度迅速降低,视镜模糊变黑。一般情况下,物料中的DCS含量应控制在8%以下。
一般而言,无定形硅产生的危险性主要有以下几个方面:
A、无定形硅比较细小,成粉尘状,这样容易随着还原尾气一起进入尾气回收系统,甚至到精馏系统。这样的话,时间一长,无定形硅会在尾气回收系统和精馏系统里面沉积,尤其是阀门、法兰、塔填料及精馏塔的底部及换热器处,这样就会导致系统堵塞,并可能引起产品质量下降;
B、无定形硅的大量存在对于生产员工的身体会造成严重的伤害。这一点对于还原生产现场拆装硅棒的员工影响最大,每次在拆炉取硅棒的时候,无定形硅如同尘埃一样黑压压的到处乱飞,生产车间环境会进一步恶化,这样无定形硅就会很容易进入员工的肺内。
C、无定形硅的存在也直接反映出硅棒表面有大量的爆米花存在。无定形硅附着在这些爆米花上会形成絮状覆层,这样对下游生产就会产生不利的影响。
D、爆炸的危险,这一点只是一种推测。如果车间通风不是很好,大量的无定形硅的存在会使车间形成一个粉尘危险区,如果无定形硅形成一定的浓度,并伴随一定的氢气存在,在有火花存在的情况下,极易发生爆炸的危险。成都富士康当时发生的爆炸基本上就是抛光粉尘爆炸导致的。
所以,在多晶硅生产过程中,无定形硅的产生一定要引起企业的重视,切不可因为一时的利益驱使而产生更严重的问题。(作者:成都恒海化工技术服务有限公司 王恒)