2 、“硅油”问题：
“硅油”是一种大分子量的硅卤化物(SiCl2)n·H2N ,其中含硅 25 %呈油状的物质，这种油状物是在还原炉中低温部位产生的(低于 300 ℃ )，往往沉积在炉壁、底盘、喷口、电极及窥视孔石英片等冷壁处。
硅油的产生，导致大量的硅化合物的损失，降低实收率;沉积在窥视孔石英片上的硅油，使镜片模糊，影响观察和测温，从而影响炉内温度的调节，甚至可以造成硅棒的温度过高而烧断。硅油具有强烈的吸水比，因而在拆炉时，硅油强烈的吸收空气中的水分同时游离出 HCI 而腐蚀设备，还会引起自燃爆炸，给生产带来麻烦。
为了避免硅油的产生，可采用下列措施：
① 调节炉壁冷却热水温度，使炉壁温度控制在要求的温度;
② 停炉前降低冷却水流量，提高炉壁温度使硅油挥发。
3、彩棒问题：
一般而言，多晶硅生产中产生的彩棒颜色一般为深灰色或是七彩色。深灰色一般是由于系统中含有氮气而生成氮化硅造成的。而七彩色一般是由于系统中 进入少量氧气而生产二氧化硅。所以这种情况下需要对回收氢气进行检查，以确定其中的氧和但的含量。如果发现含量超标，则必须使用电解氢对其进行置换，以确 保氮和氧的含量达到控制要求。
4、彩芯问题：
产生的原因基本与彩棒相同，但是这种情况下一般是由于开炉时系统置换不干净引起的，所以系统置换后必须对系统中的氮中氧和氢中氮的含量进行测量，如果测量不合格，则需要再继续进行置换，直至测量合格。
5、硅芯脱离：
即生成硅棒后发现硅芯与硅棒脱离，为有效的粘合在一起。一般产生这种现象基本上是由于在硅芯酸洗时未酸洗彻底，导致硅芯表面有氧化层。解决此类问题的方法是延长硅芯酸洗时间或是定期更换洗涤酸液。
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