面向全球半导体、太阳能和电子行业提供精密仪器和先进气液输送解决方案的技术引领者 Celerity, Inc. 今天宣布，该公司推出新型 GF100 系列质量流量控制器 (MFC)，该产品旨在精确测量、监控和控制半导体设备及太阳能电池生产工艺中的超纯度工艺气体化学反应。该新型 Celerity GF100 系列质量流量控制器是一个可高度配置的平台，具有 Celerity 第二代专有的压力瞬变不敏感型流量技术，可以改善工艺控制、降低拥有成本，并消除存货管理的复杂性。
该新型 Celerity GF100 系列质量流量控制器产品系列具有诸多重要优势，包括高精确度、可重复的气体测量、先进的数字架构进行的控制、为实现最大工艺灵活性和最优化对气体和流量范围进行原位电子再配置、压力瞬变不敏感型流量技术设计（显著减少了高纯度气体输送系统的成本和体积）、以及便于自己进行简单、有效的维护工作的嵌入式智能诊断、维修端口和软件。
Celerity 销售与推广高级副总裁 David Somo 表示："Celerity 是先进的数字超纯度质量流量控制器领域的市场领导者，也是压力瞬变不敏感型质量流量控制器领域的行业先驱。GF100 系列利用了我们在气体流量控制领域的广泛经验，是对我们市场领先的精确质量流量控制器的持续改善与更新，它为客户实现更佳的工艺控制和更低的拥有成本提供了符合 RoHS 的无缝升级。"
Celerity 简介
Celerity 是一家从事精密仪器及先进气液输送解决方案的设计、工程及生产的技术引领者，其解决方案是半导体、平板显示器、太阳能电池板及相关产品生产设备中不可或缺的组成部分。Celerity 总部位于加州圣荷西，在世界各地拥有约800名员工。Celerity 是一家私人控股公司，德克萨斯太平洋集团 (Texas Pacific Group) 拥有其大部分股份。
索比光伏网 https://news.solarbe.com/200901/21/3329.html
