RIE设备
索比光伏网讯:隶属于无锡先导集团的江苏微导纳米装备科技有限公司，致力于为国内外的高科技行业提供最新最可靠的生产设备和解决方案。其中专门为新型高效太阳能电池的表面钝化所开发的原子层沉积（ALD）技术
反应离子刻蚀（RIE）技术，于今年3月份在客户现场实现第一片实验片反射率做到10%以下，首次金刚线多晶2800片实验平均效率做到19%以上，最高19.41%的好成绩。在N型双面电池的钝化工艺上耕耘了近一年
隶属于无锡先导集团的江苏微导纳米装备科技有限公司，致力于为国内外的高科技行业提供最新最可靠的生产设备和解决方案。其中专门为新型高效太阳能电池的表面钝化所开发的原子层沉积(ALD)技术，在不到一年的
时间内就完成了从技术评估、设计定案、机械和工艺验证，直到完成最终的客户应用评估等工作，并于今年2月份在客户端获得了超21%的平均转化效率。另外，专门为解决金刚线多晶制绒难问题所开发的反应离子刻蚀(RIE
索比光伏网讯: 隶属于无锡先导集团的江苏微导纳米装备科技有限公司，致力于为国内外的高科技行业提供最新最可靠的生产设备和解决方案。其中专门为新型高效太阳能电池的表面钝化所开发的原子层沉积(ALD)技术
反应离子刻蚀(RIE)技术，于今年3月份在客户现场实现第一片实验片反射率做到10%以下，首次金刚线多晶2800片实验平均效率做到19%以上，最高19.41%的好成绩。在N型双面电池的钝化工艺上耕耘了近一年
。5、运营成本下降。金刚线切割的设备占用资本、空间占用、人力和电力占用均有下降，整个生产流程更加简化，从而降低运营成本。按照制作工艺，金刚石切割线又可分为电镀金刚石线与树脂金刚石线。树脂金刚石线是先将
之处。两种新型制绒技术：添加剂制绒技术、黑硅技术制绒添加剂技术：性价比最高，电池效率小幅损失金刚线切割而成的多晶硅片上使用添加剂直接制绒，无需额外的设备投入，生产改装成本最小。制绒添加剂技术是指在传统酸
的影响，扩散结很难做到均匀，甚至在金字塔绒面的顶部和底部的扩散结深度相差了30%，成为了效率提升的瓶颈之一。
业内有很多方法可以改善 p-n 结的宏观均匀性，即方阻的均匀性，例如，在扩散设备内硅
表面先氧化再进行磷源或硼源扩散的工艺可以提升硅片方阻的片内均匀性;通源管路从一端进气变为全段多孔进气的设备改进，可以改善整管硅片方阻的片间均匀性 ;通过扩散炉管抽真空的方式做减压扩散，有助于改善硅片
，RIE）及湿法制绒的金属催化化学腐蚀法（metalCatalyzedChemicalEtching，MCCE），干法黑硅设备以常州比太科技为主，湿法黑硅设备以阿特斯和尚德以自我改造为主。干法黑硅与湿法黑硅
科技是一家专注新一代高效太阳能电池装备研发和制造的企业，这次能和宝群电子在光伏展上达成合作关系感到非常高兴。比太发布的RIE干法制绒设备，拥有多项自主知识产权，能够实现多晶硅电池20%的转换效率。相信
、安全上篮等动作。可用于太阳能光伏单晶及多晶硅片的插片。其快速的生产速度为企业节约了大量人力资源。
比太科技有限公司发布的四代RIE干法黑硅设备的量产CoO成本将大幅度降低40~50%，至
实验平均效率做到19%以上，最高19.41%的好成绩。微导的干法制绒的设备成功突破产能极限，实现较传统RIE设备产能提高25%以上。此外，我们的铝合金腔体可确保长期使用不会生锈，更合理的内部设计大大降低
平均效率做到19%以上，最高19.41%的好成绩，此时距离二次配完成具备工艺调试条件仅4天时间。相信在后续深入优化以后，还会有进一步的提升。
能够在从来没有调过工艺的微导第一台RIE设备上实现快速
RIE设备产能提高25%以上。此外，我们的铝合金腔体可确保长期使用不会生锈，更合理的内部设计大大降低了维护成本。再加上我们深度集成的自动化上下料系统确保了设备整体具有更高的稳定性、更低的碎片率以及更低
实验平均效率做到19%以上，最高19.41%的好成绩，此时距离二次配完成具备工艺调试条件仅4天时间。相信在后续深入优化以后，还会有进一步的提升。能够在从来没有调过工艺的微导第一台RIE设备上实现快速做黑
毕业的博士、硕士，其中数人更是获得了江苏省双创人才项目的技术专家，是真正具有高新技术产业化经验的团队。这次开发的用于太阳能电池表面干法制绒的设备经过数轮的技术攻关，成功突破产能极限，实现较传统RIE
