RIE设备

，reactiveionetching(RIE)、LaserIsolation、SelectiveEmitter(SE)、LaserDoping、DoublePrint、DualPrint等各有拥护者，但
机，或尝试Singlus、Levitech、Solaytec、ASM等各种设备，而是选择采用成功量产的厂商所选用的机台，使MeyerBurger成为这波扩厂热潮中最大的赢家。但受限于

/P吸杂技术、选择性发射区技术、双层减反射膜技术等。许多新结构新技术的电池在此阶段相继出现，如效率达24.4%钝化发射极和背面点接触(PERL)电池。目前相当多的技术、材料和设备正在逐渐突破实验室的
气体，非环境友好型生产方式。反应离子刻蚀技术(RIE)是最有发展前景的技术，它首先在硅片表面形成一层MASK(掩膜)再显影出表面织构模型，然后再利用反应离子刻蚀方法制备表面织构。用这种方法制备出的减反射

/P吸杂技术、选择性发射区技术、双层减反射膜技术等。许多新结构新技术的电池在此阶段相继出现，如效率达24.4％钝化发射极和背面点接触（PERL）电池。目前相当多的技术、材料和设备正在逐渐突破实验室的限制
，非环境友好型生产方式。反应离子刻蚀技术（RIE）是最有发展前景的技术，它首先在硅片表面形成一层MASK（掩膜）再显影出表面织构模型，然后再利用反应离子刻蚀方法制备表面织构。用这种方法制备出的减反射绒

于2011年，专注于新一代高效太阳能电池装备研发和制造。公司创始人兼CEO上官泉元多年来从事微电子行业高端制造装备技术研究，公司基于自主研发的线性等离子源技术，成功开发出了Tysol-RIE系列干法制绒设备

及检测设备升级；开展RIE黑硅电池、PERC背钝化电池、N型电池、新型电极电池等高效技术的开发；开发全天候适应性组件产品，包括双玻组件、智能组件、轻质组件、长期抗PID组件；研究院将致力于研究更高
。 浙江晶科能源有限公司：太阳能发电技术应用研究院建设及提升项目 本项目计划投入经费约11825万元，其中5005万为固定资产投资，用于完善现有研发检测设备，提升研发能力。主要包括研究院研发

标准化管理，力使每项工作都有明确的指导流程，制定了设备操作、风险评估、安全健康等方面的生产类管理标准7册；技术文件、采购指标文件、对标体系技术方面的标注5册，在实施中不断修补管理中的漏洞，精益化管理
每个生产环节，还对影响产量的因素进行了详细分析，采取设备24小时全开、生产一线职工加班加点以及TPM设备管理措施提高产量。截止11月25日，西安和西宁两个基地共生产电池493兆瓦，超设计产能23.2

而减小。Betezen等从实验中得出，降低温度和延长扩散时间有利于硅片的吸杂作用。豆等通过改变多晶硅中气体流量的大小与RIE制绒工艺进行匹配，在方阻为80/sq的情况下得到了转换效率为17 . 5%的
. 4 7 c m 4 组1 5 6 156mm单晶硅片，厚度为200ｍ。每组取5片进行实验。扩散采用七星华创设备来进行。扩散工艺分别采用恒定源扩散和限定源扩散。恒定源表面扩散是硅片表面杂质浓度

、激光刻槽、等离子刻蚀(RIE)和各向同性酸腐蚀。在硅片表面织构的制作过程中，可能会引入机械应力和损伤，在后处理中形成缺陷。而各向同性酸腐蚀技术可以比较容易地整合到当前的太阳电池处理工序中，它的制作
成本基本上是最低的，在大规模工业化生产中，各向同性酸腐蚀是目前广泛应用的多晶硅太阳电池绒面技术。北极星太阳能光伏网编辑按照已知销售商数量(非静态指标)列出了国内前十名硅片制绒清洗设备企业，仅供参考。1

主要靠技术。晶澳一直保持着比同业领先6个月的优势，并有足够的技术储备。在整个太阳能组件中，设备安装成本占到了50%，新技术不仅将大大增加每平方米的发电量，而且有效降低了每瓦的安装成本。 技术革命的
。 　　● 黑硅（RIE）电池 绝对转换效率较目前高效多晶提升0.5%左右。2013年7月份试量产，经第三方机构测试平均转换效率达到18.3%。该款电池2013年上半年完成全部开发工作，预计年底前进入量产。

(RIE)工艺，电池平均转换效率比过去提升了0.5%，最高效率达到17.90%。 黄河光伏的背钝化工艺采用原子层沉积(ALD)或等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺在硅片背面形成氧化铝膜层
高效电池采用了RIE制绒技术，在多晶硅片制绒后使用等离子体在硅片表面进行轰击刻蚀，使硅片表面形成微小绒面，从而达到降低硅片表面光反射的目的，由于多晶硅电池对光的吸收增强，短路电流提高，电池转换效率因此提高