RIE设备
、晶澳等公司建立战略合作伙伴关系。先导的ALD背钝化设备、RIE干法黑硅设备、MBB多栅串焊机达到了全球领先的水平。结合先导自主研发的MES系统，可为光伏企业打造“无人车间”。 刘汉元 2018年
近日，江苏微导接到光伏电池行业标杆企业的正式通知，为其高效PERC电池生产提供关键工艺技术-原子层沉积(ALD)钝化设备，这是国产光伏高端设备的全新突破，拉开了全球高效PERC电池生产的新篇章
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夸父系列-原子层沉积镀膜系统(ALD)
2018年新年伊始，江苏微导接到光伏电池行业标杆企业的正式通知，为高效PERC电池生产提供关键工艺技术-原子层沉积(ALD)钝化设备，装机总量将满足
领先612个月。靳保芳说这得益于企业建立健全了创新投入保障机制。晶龙每年拿出不低于销售收入5%的资金作为创新投入，进行技术研发、设备技改等，即使在资金最困难的时期，也没有消减过科技创新投入。注重
PERC电池功损高、光衰大、良品率低等技术上的难点，开发了独有的RIE技术，为金刚线切割多晶的规模化应用开辟了道路，并且PERCIUM项目已经提前一年完成了科技成果转化为项目的三年目标。在N型电池、组件的
一定电池效率的提升(转换效率能提高0.4-0.6个百分点)。
目前：比较成熟的黑硅技术技术路线主要有干法(RIE)和湿法(MCCE)两种。干法黑硅技术相比而言效果更好，但由于需要新增设备和工序，成本
高昂;而湿法黑硅(及其改进的混合路线)技术不需新增设备，只需在原有设备进行一些改动、添加一些化学试剂，前期投入很少，但同时也带来了环评等后期投入，稳定性略逊于干法黑硅技术。
未来：主要多晶硅企业开始
的黑硅技术技术路线主要有干法(RIE)和湿法(MCCE)两种。干法黑硅技术相比而言效果更好，但由于需要新增设备和工序，成本高昂;而湿法黑硅(及其改进的混合路线)技术不需新增设备，只需在原有设备进行一些
。2004年，日本京瓷公司引入了干法黑硅RIE多晶制绒技术。在2008年，以韩国公司为代表的设备厂家开始在中国推广干法黑硅RIE技术。湿法黑硅方面，早在2006年，德国的Stutzmann小组即提出
京瓷公司引入了干法黑硅RIE多晶制绒技术。在2008年，以韩国公司为代表的设备厂家开始在中国推广干法黑硅RIE技术。湿法黑硅方面，早在2006年，德国的Stutzmann小组即提出了金属催化化学腐蚀的
。在光伏行业，先导和协鑫、隆基、天合、晶科、阿特斯、晶澳等公司建立战略合作伙伴关系。先导的ALD背钝化设备、RIE干法黑硅设备、MBB多栅串焊机达到了全球领先的水平。结合先导自主研发的MES系统，可为
表我们可以看到，干法黑硅技术和湿法黑硅技术也需要经过去损伤、挖孔、扩孔三个步骤。早期的干法步骤使用了传统酸制绒去损伤、低产能的RIE设备以及未经优化的扩孔工艺，存在Coo的明显浪费，导致其性价比不如
客户现场一次成功，实现产能超过4000片/小时的第一代RIE设备WR4000，效率和稳定性获得了客户的一致好评。在此基础上，微导的研发团队经过几个月的努力，在第一代量产设备的基础上，经过了近千项软硬件
、RIE黑硅设备等产品进行全面深度的技术解读和产品推介，诚邀广大业内人士莅临洽谈。 2017CREC中国（无锡）国际新能源展览会先导展位号：太湖国际博览中心A1-009 2.新产品抢先看据了解，本次新产品
、分布式能源、储能、能源互联网以及新能源汽车、充电桩等产品及业务。届时将有200余家国内外知名光伏企业参展、预计十万人次观展。先导智能作为国际领先的光伏组件设备解决方案提供商，将携带最新研发的光伏设备亮相
