非晶硅薄膜
高效自动化生产线设备研发与技术攻关。 重点开展光伏电池片、多晶硅及非晶硅太阳能电池、柔性非晶硅薄膜太阳能电池和非晶硅薄膜太阳能电池等产品研发与技术攻关。 原文如下： 营政办发〔2022〕8号
另一重要原因。HJT电池是目前工序最少的电池技术，仅为4道：制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备和电极制备，PERC电池则需要8道工序。 布局良机显现 中国证券报：海源复材布局HJT电池领域的原因
掺杂方案。业内在探索低成本PN区掺杂工艺，并在以下几个方向有了积极的成果：
简化掺杂非晶硅薄膜的工序
降低关键设备PECVD的设备成本
采用更低成本的非晶硅沉积设备
(2)关键设备：非晶硅薄膜
沉积设备
非晶硅薄膜沉积设备，主要有板式PECVD、HWCVD和LPCVD设备。见下表：
非晶硅薄膜沉积设备比较
(来源：公开信息，普乐科技POPSOLAR整理)
LPCVD设备，是随着
超高效异质结光伏电池片生产线，配套生产设备等设施。 异质结太阳能电池(HJT)是一种高效晶硅太阳能电池结构，利用晶体硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池。相对于传统电池，异质结电池颠覆了第二代及
，TOPCon电池也有比较高的呼声。 相比较而言，异质结电池有4道工艺(制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备，对应的设备分别为清洗制绒设备、PECVD设备、PVD/RPD设备、丝网印刷设备
。 HJT电池微晶工艺 有助提升转换效率 HJT电池是以N型硅片为衬底，在正面依次为透明导电氧化物膜(简称TCO)、N型非晶硅薄膜和本征非晶硅薄膜;在电池背面依次为TCO、P型非晶硅薄膜和本征
。
HJT本质上是一种光伏单晶电池片。HJT电池是双面电池结构，最中间是N型晶体硅，在晶体硅其中一面依次沉积本征非晶硅薄膜和P型薄膜，就形成了P-N结(功能是把光能转化成电能)。由于非晶硅的导电性比较
步就可以。每一步的名称在上图也可以看到，烤包子在这里就不天书般地介绍每一步具体怎么实现了。相较于目前主流的PERC电池的8道和TOPCon的10道工艺，生产步骤大大减少。其中，非晶硅薄膜沉积(第二步
%降本空间。HJT 制作工艺流程大幅简化，制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO 薄膜沉积、电极金属化四个步骤，分别对应的制绒清洗、PECVD、PVD/RPD、丝印/电镀四道工艺设备。随着迈为、捷佳及钧石等
、非晶硅薄膜沉积、TCO薄膜沉积、电极金属化四个步骤，分别对应制绒清洗、PECVD、PVD/RPD、丝印/电镀四道设备。目前国内试产及量产线基本实现了HJT设备的国产化替代，尤其通威股份1GW异质结
40%; 3)设备方面降本：目前单GW成本低于4亿元，未来仍有40%降本空间。HJT制作工艺流程大幅简化，制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO薄膜沉积、电极金属化四个步骤，分别对应制绒清洗、PECVD
