还原炉

反应器、四氯化硅转化炉、变温变压尾气中氢气处理装置、还原炉节电技术、事故氯硅烷处理系统、紧急停车应用技术（ESD）等多项多晶硅生产的重大关键技术，建成了年产1500吨太阳能级多晶硅生产线，申请并获得了5项

氯氢硅大型流化床反应器、四氯化硅转化炉、变温变压尾气中氢气处理装置、还原炉节电技术、事故氯硅烷处理系统、紧急停车应用技术（ESD）等多项多晶硅生产的重大关键技术，建成了年产1500吨太阳能级多晶硅

Centrotherm跃居全球第二。GTSolar是全球CVD还原炉（REACTOR）和多晶硅铸锭炉（ingotfurnace）龙头厂家，在光伏产业上游的多晶硅领域应用广泛。多晶硅领域正在展开产能竞赛

Centrotherm的TurnkeySolution.2010年台湾厂家纷纷扩产，大多采用了Centrotherm的设备，使得Centrotherm跃居全球第二。 　　GTSolar是全球CVD还原炉
（REACTOR）和多晶硅铸锭炉（ingotfurnace）龙头厂家，在光伏产业上游的多晶硅领域应用广泛。多晶硅领域正在展开产能竞赛，GTSolar收获颇丰，不过铸锭炉领域中国厂家奋起直追，导致GTSolar流失

硅料提纯采用德国技术，硅片生产多晶炉采用美国设备，生产硅片电池七道工艺中有五道需要进口设备；由于多晶硅提纯技术不高，一些中国企业仅能采用电弧法用炭还原制取纯度只有98%至99%的工业硅，然后

和冶金法等。改良西门子法利用氯气和氢气合成氯化氢，氯化氢和工业硅粉在在250－350℃的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行化学气相沉积反应得到高纯
法的多晶硅生产企业，技术和人才都源自峨半厂。新光硅业采用自主创新的“改良西门子法”生产多晶硅纯度达到11个9，即电子级多晶硅，处于国内领先水平；永祥硅业3000吨多晶硅项目采用氢化还原一体化技术，有效

10日，湖北晶星科技股份有限公司投资13亿元的多晶硅项目在随州成功试产，预计年产1500吨多晶硅。 当日上午9时，在晶星公司还原炉车间，随着第一个还原炉钟罩被缓缓吊起，经过6天半

氯氢硅精馏、还原多晶硅、尾气分离与回收等4道工序。三氯氢硅还原是用改良西门子法生产多晶硅的关键工序。从还原这道工序来看，江苏中能现场运行的大型还原炉电耗低于60千瓦时/千克。有些企业使用的小型还原炉

多晶硅先进生产设备的同时，引进了相应的生产工艺包。2008年12月，一期1500吨多晶硅项目顺利投产，实现了电耗低、氢气消耗量小、单台还原炉产量高、运行成本低等设计目标，成为阳光集团新的经济增长点

原料，如直接淋洗后排空，既污染环境又浪费资源，因此需要进行分离提纯。我公司采用变压吸附原理对三氯氢硅合成工段排放的尾气进行分离提纯，产品气1为氢气，纯度可达到99.999%（可以再次进入HCL合成炉
设备的成功投运为三氯氢硅行业的尾气处理提供了可供同行业借鉴的解决方案，为企业节约了运行成本，也避免了环境污染。同时，该技术也可应用于多晶硅行业，多晶硅还原过程中产生的尾气成份与此相似，比例却低的多，更加容易处理。