表面等离子

和多晶硅片的工艺特点以及后续有关电池制作的一系列创新工艺，分析了相关技术进行产业开发的前景。曹则贤研究员介绍了低温等离子体辅助低温沉积硅薄膜的研究工作，阐述了活性等离子体在硅薄膜低温沉积技术中的独特
作用以及在薄膜硅太阳电池方面的应用价值。李静海就有关细节与两位研究员进行了深入讨论，指出未来太阳能技术的发展表面界面、纳米结构等方面的调控非常关键。物理所在基础研究方面有着长期的积累与雄厚的实力，具有

，提高了对太阳光的吸收率，从而进一步提高了转换率;采用 高低结结构工艺技术，有效减少电池接触电极的串联电阻，减少输出功率的损耗。 l 等离子增强化学气相淀积工艺 采用表面钝化技术，提高了太阳能电池片的填充
东方日升新能源股份有限公司 2010 年年度报告 l清洗工艺 采用硅片表面大面积织构化技术，增大了太阳能电池片的吸收面积，减少了对太阳光的 反射，提高了对太阳光的吸收率，从而提高了转换率。 l

显示器设备、发光二极管设备和表面贴装设备中的关键设备大部分仍然需要依赖进口。因此，国内设备厂商应该利用自己在半导体设备领域积累的经验，积极涉足目前新兴产业，在光伏、LED、LCD等领域，紧跟行业形势，积极
(金属有机化合物化学气相淀积)、退火炉等设备，再到与IC芯片工艺相类似的设备，如光刻机、刻蚀机、清洗机、蒸发镀膜等，最后到封装用的固晶机、金丝/铝丝球焊机、分选机等等，种类繁多。其中，MOCVD、等离子

、晶硅和薄膜太阳电池表面等离子物理、纳米光子晶体、仿生结构电池物理固体发光、LED、光探测器技术等方面。会议不仅讨论了晶硅和薄膜电池的最新技术发展，而且就太阳电池相关产业未来发展趋势开展了研讨，一致

。 该2010年江苏省科技成果转化专项资金项目“中等表面能等离子体改性四氟型太阳电池背膜开发及产业化”由苏州中来太阳能材料技术有限公司与上海交通大学太阳能研究所以产学研形式合作实施

太阳风暴不能加以利用之前，它如同洪水、暴风、巨浪一样是一种自然灾害。由于太阳风暴中的成分主要是带电等离子体，并以每小时150万～300万公里的速度冲向地球和其他行星。因此，它会对地球的空间环境产生巨大的冲击
电能怎么传输到地球上呢？当然不可能牵一个长长的电线来输送电能。卫星把所获得的电能通过一个激光发生器，转变为红外激光。这种激光的聚集性很好，在太空中传输时不会像普通光线那样发散得太厉害。红外激光射向地球表面

金属粒子，还可将其表面等离子体共振（SPR）效果用于电子释放”。 　　最近，利用SPR的太阳能电池的相关论文急剧增多。不过，大多数技术将SPR用于提高发电用太阳光的吸收率，或者扩大波长宽度范围。此次的
。 　　莱斯特大学物理与天文学系教授克里斯·宾斯表示，“只要是光滑的表面，材料可在如玻璃窗及大楼墙壁等任意地方喷涂，使其变成太阳能电池”，因此与商业电力相比，有望大幅降低发电成本。由于活性层非常薄，因此还可

）材料。通过在其表面进行镀金加工，在太阳光照射电极表面时，会产生等离子共振现象。 　　等离子共振是指光和电子在金属表面共振的现象。对于太阳能电池而言，可大幅提高光的利用率，因此最近1～2年，将其

（Back Surface Field）、p型层以及n型层的顺序来层叠半导体层。最后，在表面进行等离子处理，形成用于光密封的凹凸。 　　IMEC在同样采用外延生长的同时，制作出了部材不同的两种单元

POCL3 等气体，在高温下分解后在硅片表面形成P-N 结。等离子去边结工序：在真空状态下，采用高频激发CF4 等离子体刻蚀边缘的P-N 结。喷涂炉淀积SiNx 工序：在喷涂炉等离体化学气相淀积中，采用高频