比利时研究机构IMEC于2010年7月13日宣布,通过采用外延生长制作的20μm厚结晶硅太阳能电池,实现了16.3%的单元转换效率。单元面积比较大,为70cm2。IMEC介绍说该单元目前正在美国旧金山市举行的半导体展会“Semicon West 2010”(2010年7月12~16日)上展示。
IMEC正在IMEC Industrial Affiliation Program(IIAP)这一开发项目中,开发两种新一代结晶硅太阳能电池(参阅本站报道)。一种是从铸锭上切割结晶硅晶圆后使用的整体型。另一种是通过外延生长在底板上形成结晶硅的型号。后者的特点是:虽然也在底板上采用了多晶硅晶圆,但晶圆质量不高也可使用,而且厚度大幅薄于整体型。
此次开发的单元制造工艺概要如下。首先,在底板上形成由多孔硅构成的光密封专用布拉格反射层。然后,通过CVD(化学气相沉积)法,按照p型BSF(Back Surface Field)、p型层以及n型层的顺序来层叠半导体层。最后,在表面进行等离子处理,形成用于光密封的凹凸。
IMEC在同样采用外延生长的同时,制作出了部材不同的两种单元。一种是采用高质量结晶硅底板,在电极中采用铜(Cu)布线的单元。另一种是采用通过名为UMG(Upgraded Metallurgic Grade)的冶金工艺制造的质量稍低的结晶硅晶圆,通过丝网印刷形成布线图案的单元。16.3%的转换效率是通过采用高质量结晶硅底板实现的。采用UMG硅晶圆的单元的转换效率为14.7%。IMEC的能源及太阳能业务总监Jef Poortmans表示,“如果用铜来封装布线图案,那么即便是采用低质量底板的单元,也可以将转换效率提高至可与现有结晶硅太阳能电池相竞争的水平”。(记者:野泽 哲生)
转换效率为16.3%的单元。采用了高质量结晶硅底板和铜布线。
转换效率为14.7%的单元。采用了低质量结晶硅底板,以及通过丝网印刷形成的布线。