等离子光学
我国的太阳能电池转换效率进一步提高提供一条途径。 关键词：等离子体增强化学气相淀积；PECVD，太阳电池；氮化硅 0引言 氮化硅膜作为晶体硅太阳能电池减反射钝化膜是目前太阳能电池制备的主流
，然而由于用PECVD来制备的氮化硅膜，是以SixNyHz方式来表达的，其中的x,y,z的数值直接影响了膜的光学性能和对晶体硅太阳电池表面和体内的钝化作用，因为其数值对于膜的折射率、消光系数、致密性都有
效更便宜的太阳能技术。
科瑞艾登研究小组开发的金属光栅。来源：美国西北大学
有一篇论文描述了这一成果，就是《宽波段非偏振谐振光吸收使用超薄等离子超级吸收剂》（Broadband
的波长，是由于局部光学共振会使光线花更多时间在材料内，直到它被吸收。这种复合超材料收集光，也可以有许多不同的角度，这是一种有用的性能，在处理阳光时就是这样，阳光照射太阳能电池有不同的角度，因为太阳全天
译/Oscar 位于德国阿尔岑瑙的莱宝光学设备有限公司（Leybold Optics）是世界领先的多应用领域真空系统生产商之一。作为由莱宝光学公司首席执行官Kurt Hkansson和首席财务官
Jrgen Schneider联合推出的前进策略的一部分，公司目前的产品系列分为了两个完全独立的单位：光学、Glass & Solar。拥有20多年国际光学经验的Antonio Requena，现在公司
性能要求的提高，TCO玻璃必须具备提高光散射的能力，而ITO镀膜很难做到这一点，并且激光刻蚀性能也较差。铟为稀有元素，在自然界中贮存量少，价格较高。ITO应用于太阳能电池时在等离子体中不够稳定，因此目前
ITO镀膜已非光伏电池主流的电极玻璃。SnO2镀膜也简称FTO，目前主要是用于生产建筑用Low-E玻璃。其导电性能比ITO略差，但具有成本相对较低，激光刻蚀容易，光学性能适宜等优点。通过对普通Low-E的
180°时，即膜层的光学厚度为某一波长的1／4时，则2个矢量的方向完全相反，合矢量便有最小值。如果矢量的模相等，则对该波长而言；2个矢量将完全抵消，于是反射率为零。镀制有减反射薄膜的太阳电池的反射率R
层的光学厚度。当波长λ0为光的垂直入射时，因此，完善的单层减反射薄膜条件是膜层的光学厚度为1／4波长，其折射率为基片和入射媒质折射率相乘积的平方根。2 减反射薄膜的材料要想将光电池对光反~射引起的损失
。但现在外延薄膜太阳能电池的主要缺点是它们的效率相对较低。已有两种技术表明能提高薄膜太阳能电池的效率。一是利用卤素原子等离子加工，优化上表面结构，另一种技术是在外延层/衬底界面处引入中间反射镜。优化的
硅太阳能电池的效率较低：这些电池的开路电压和填充因数可以达到与体硅太阳能电池相近的水平，但由于存在光学活性薄层（与体硅厚度200μm相比，薄膜硅的活性层厚度仅20μm），光从外延层传输到衬底时，衬底
13%以上的市场份额。各种薄膜电池都有一些瓶颈问题尚未解决。目前硅基薄膜太阳能电池，无论单结、双结还是三结电池，制造工艺都是采用等离子体增强的化学气相沉积(PECVD)方法，真空腔的清洗基本是氟化物
有毒气体，硒化设备的设计非常重要，而市场上没有专业的硒化设备供应商。此外采用蒸发技术制备CIGS薄膜遇到的问题是如何做到大面积薄膜的均匀性和可靠性，包括薄膜的微结构、光学、电学和厚度等的均匀性和可靠性
。各种薄膜电池都有一些瓶颈问题尚未解决。目前硅基薄膜太阳能电池，无论单结、双结还是三结电池，制造工艺都是采用等离子体增强的化学气相沉积(PECVD)方法，真空腔的清洗基本是氟化物(SF6或NF3)，排出
设计非常重要，而市场上没有专业的硒化设备供应商。此外采用蒸发技术制备CIGS薄膜遇到的问题是如何做到大面积薄膜的均匀性和可靠性，包括薄膜的微结构、光学、电学和厚度等的均匀性和可靠性。除了上述技术上的难题
，他说。他们基本上是平面器件。非晶硅厚度有200至300纳米，而微晶硅厚度超过1微米。
这个小组的新的设计集中于光学密集电池（optically thick cells），有很强的吸光力，而电极
沉积技术（absorber deposition technology），属于等离子增强的化学气相沉积（chemical vapor deposition），这一技术已经用于非晶硅为基础的电子器件，是为
能力强,是产业升级、技术进步的重要保障和国家综合实力的集中体现。光伏装备可归入半导体装备领域,其技术涉及物理、化学、光学、电子、材料及自动控制等数十个专业领域,具有较高的技术含量。光伏装备不仅是生产工艺
为主。在电池制造环节,国产设备在数量上已占据多数,但核心工艺装备如多晶硅制绒清洗机、平板式PECVD(等离子化学气相沉积)、全自动丝网印刷机及快速烧结炉基本上依赖进口。特别值得一提的是,随着未来
