硅片清洗技术

目前生产的多晶硅产品质量基本上能满足集成电路及功率器件发展的技术要求，用户可不经腐蚀、清洗直接装炉。多晶硅质量指标好，产品稳定，多晶硅N型电阻率都在1000Ωcm以上。表7、表8、表9为几家
，在21世纪中叶，太阳能光伏发电成为人类的基础能源之一，在世界能源构成中占有一定的地位。 多晶硅生产技术不断发展和完善 改良西门子法技术的不断完善与发展，使原辅材料及能耗大为降低

600550 硅片、电池、组件 特变电工 600089 组件 南玻A 000012 多晶硅 申能股份 600642 可再生能源技术开发 交大
上海闵行沪闵高架上的车流如过江之鲫穿梭不息；走进上海交大泰阳绿色能源有限公司的厂房，一条条光伏电池流水线，繁忙之象似乎也不遑多让。 “这是前道清洗，这是高温扩散、镀膜、印刷，最后还要烧结和

上海闵行沪闵高架上的车流如过江之鲫穿梭不息；走进上海交大泰阳绿色能源有限公司的厂房，一条条光伏电池流水线，繁忙之象似乎也不遑多让。 这是前道清洗，这是高温扩散、镀膜、印刷，最后还要烧结和测试
。指着流水线上的一道道工序，交大泰阳总经办主任杨平不厌其烦地向上海证券报记者解释光伏电池片的整个制造流程。据说，只有经过整整8个小时的辗转和约10道工序的打磨，才最终将一块不起眼的硅片改造成泛着深邃幽

内真空度、单炉能耗等技术指标均达到或优于国外同类型产品指标。　　48所所长唐景庭介绍说，48所在2006年电子发展基金中通过竞标获得200万元经费支持用于研发多晶硅铸锭炉。多晶硅铸锭炉项目立项后，48
制备技术不再受制于人，解决了我国大规模生产多晶硅锭的技术瓶颈，从而满足国内市场对该设备的迫切需求。　　据悉，太阳能光伏产业是20世纪80年代后应运而生、近年来世界上增长最快的高新技术产业之一。专家预测

一. 硅片的化学清洗工艺原理　　硅片经过不同工序加工后，其表面已受到严重沾污，一般讲硅片表面沾污大致可分在三类：　　A. 有机杂质沾污： 可通过有机试剂的溶解作用，结合超声波清洗技术来去除。　　B.

英利发展的所有过程。如今他已是400兆瓦工程建设的副总指挥，在他背后是与他一起成长起来的几百名中层技术管理人才。 　　“比如说硅片预清洗这一工序是在英利三期100MW建设中已经应用的，也是当时
全产业链中共有近50个工序，这次我们还将增加一个硅块表面研磨工序。英利法国籍副总工程师Nabih博士向我们解释说：“由于硅片厚度的进一步降低，硅块表面质量将更能影响硅片切割、清洗、制造电池等后续环节

：★太阳能光伏生产设备：1．硅棒硅块硅锭生产设备：全套生产线，铸锭炉，坩埚，生长炉，其他相关设备；2．硅片晶圆生产设备： 全套生产线，切割设备，清洗设备，检测设备，其他相关设备；3．电池生产设备： 全套
、设置买家专区，提前收集买家需求信息及公布参展企业展品清单，展会现场进行配对交易，并为大买家提供全程贵宾级服务，增加贸易机会；为参展商和观众搭建起沟通洽谈的桥梁，力争形成供需互动、理念互动、技术互动。5

日 14：00-17:00展出内容：光伏生产设备：硅棒硅块硅锭生产设备：全套生产线，铸锭炉，坩埚，生长炉，其他相关设备硅片晶圆生产设备： 全套生产线，切割设备，清洗设备，检测设备，其他相关
CESEE（2008）中&欧国际太阳能产业及光伏工程技术(上海)展览会”。 　　来自德国、美国、日本、法国、奥地利、荷兰、瑞士、比利时、新加坡、西班牙、台湾等四十多个国家和地区的业内专家、学者、企业家都

本具备太阳能电池设备整线供给能力。经多次技术换代及升级，国产的太阳能电池及组件生产线关键生产设备如硅片清洗机、8英寸扩散炉、等离子刻蚀机、PSG祛除机、低温烘干炉、高温烧结炉等相继在国内大生产线上替代了

，千吨级技术出现曙光；硅片加工规模已达世界级；电池及组件行业有世界一流企业领军；太阳能灯具规模世界第一；并网发电系统国际知名。 　　提高效率降低成本是当务之急 　　太阳能电池制造设备的发展目的是为了
，提高整线生产效率，减少人工干预，降低碎片率；将更先进的工艺技术物化于设备，进一步提高太阳能电池的光电转换效率，降低每瓦成本；适合大尺寸(从目前主流的125mm×125mm和156mm×156mm硅片