硅片清洗技术

太阳能硅电池生产流水线，该项目位于上海市闵行区紫竹高新技术产业园内,厂址东侧为淡水河，南临江川东路，西面是上海恩德斯豪斯自动化设备有限公司，北面是雅马哈发动机研发（上海）有限公司。项目占地面积约
新能源。为了适应太阳能电池产业的发展，满足日益增长的市场需求，抓住太阳能电池产业发展的历史机遇，本项目拟建整套100MW太阳能电池生产设备, 以单晶硅片为原料经表面处理、扩散、硅沉积、电极印刷、焊接等工序

用的工艺是铸锭法。在这个过程中，多晶硅放入石英坩埚中，经过加热、融化、长晶、退火和冷却，完成一个多晶晶锭的生长过程。把单晶硅棒或多晶晶碇切割成硅片，目前基本上采用的是多线切割技术。将硅棒或硅锭经表面
整形、定向、切割、研磨、腐蚀、抛光、清洗等工艺,加工成符合特定要求的硅片。硅片的厚度已经从2004年的主流厚度270um发展到现在的200um为主。目前，国际上部分厂家量产的硅片厚度可以达到180um

随着国家对新型可再生能源发展的重视，作为中国光伏产业基础支撑的光伏装备也随着光伏产业的发展而不断前行。以晶体硅太阳能电池生产设备为例，依靠我国半导体设备行业数十年来的技术积累，通过和一流
硅材料生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口，可提供10种太阳能电池

珠三角地区，主要涉及光刻机、清洗系统、探针台、划片机、粘片机、焊线机等产品；太阳能光伏(含太阳能硅片及电池片)设备产品的客户主要分布在长三角地区，涉及多线切割机、印刷机、清洗制绒系统、甩干机、划片机等

)主要分布在珠三角地区，主要涉及光刻机、清洗系统、探针台、划片机、粘片机、焊线机等产品；太阳能光伏(含太阳能硅片及电池片)设备产品的客户主要分布在长三角地区，涉及多线切割机、印刷机、清洗制绒系统、甩干

，湖南省光伏产业发展迅速，形成了从硅材料、装备技术、材料研发、人才队伍到整个产业链的综合比较优势。目前长沙市共有在建、签约、在谈光伏产业项目7个，全部项目总投资130亿元以上，预计产值可达400亿元以上
太阳能硅片、电池片、电池组建及模块、储能及应用产品、光伏发电系统等的研发、生产;LED外延芯片及照明设备、显示设备及各类应用产品的封装、生产；以及上述产业链环节重要设备、装备的研发、生产。长沙高新区将出

光伏产业发展迅速，形成了从硅材料、装备技术、材料研发、人才队伍到整个产业链的综合比较优势。目前长沙市共有在建、签约、在谈光伏产业项目7个，全部项目总投资130亿元以上，预计产值可达400亿元以上。 为
推进长沙光伏产业快速发展，推进产业集群结构优化升级,提升产业竞争力，长沙市委、市政府决定在长沙高新区麓谷建立长沙光伏产业基地。基地规划面积约236公顷,其中产业用地215公顷。重点布局太阳能硅片

硅片晶圆生产设备： 全套生产线，切割设备，清洗设备，检测设备，其他相关设备电池生产设备： 全套生产线，蚀刻设备，清洗设备，扩散炉，覆膜设备/沉积炉， 丝网印刷
产量为4000.5 MWp。据统计，到目前为止，中国有近50家公司正在建设、扩建和筹建以西门子改良法为技术路线的多晶硅生产线，总建设规模超过10万吨，总投资超过1000亿。2007年中国太阳电池

，我国已有500多家光伏企业和研发单位。其中光伏电池厂约50家；光伏组件厂近100家；光伏应用产品公司50多家；多晶硅材料厂近20家；拉晶铸锭及硅片加工近30家；超白玻璃、EVA、接线盒、焊带及配套材料厂
50多家；光伏设备(清洗机、层压机、测试台、扩散炉、印刷机、网板加工等)制造公司约50家；参与光伏研发的研究所和大专院校约50所，就业人员已超过10万人。 2007年中国单晶硅电池和多晶硅电池的

，我国已有500多家光伏企业和研发单位。其中光伏电池厂约50家；光伏组件厂近100家；光伏应用产品公司50多家；多晶硅材料厂近20家；拉晶铸锭及硅片加工近30家；超白玻璃、EVA、接线盒、焊带及配套
材料厂50多家；光伏设备(清洗机、层压机、测试台、扩散炉、印刷机、网板加工等)制造公司约50家；参与光伏研发的研究所和大专院校约50所，就业人员已超过10万人。 2007年中国单晶硅电池和多晶硅电池的