湿法化学设备

太阳电池要求双面镀膜，正面镀氮化硅，背面镀二氧化硅和氮化硅，这种情况下，灵活的微波间接法就有较大的优势。另一些技术要求在制备出氮化硅薄膜后还进行湿法光化学金属镀膜工艺，这对氮化硅膜的密度和质量要求高了
SiNx膜的方法有很多种，包括：化学气相沉积法（CVD法）、等离子增强化学气相沉积（PECVD法）、低压化学气相沉积法（LPCVD法）。在目前产业上常用的是PECVD法。 PECVD法按沉积腔室等离子

能的三分之二强。 多环节自动化 首先，生产线必须具备足够的产能。从硅片原料到太阳能电池成品，中间多道环节都投入了机器人承担作业任务。硅片需要经过湿法设备完成数道化学水浴，消除表面

必须具备足够的产能。从硅片原料到太阳能电池成品，中间多道环节都投入了机器人承担作业任务。硅片需要经过湿法设备完成数道化学水浴，消除表面的微观损伤。硅片经磷扩散处理，表面形成一层负电极膜。但从扩散炉出来

该公司这似乎是相当不错的一个成绩。 STANGL Semiconductor Equipment AG曾经因为其8台卷轴到卷轴湿法化学涂布设备售予Ascent Solar而受人关注。这些设备

、丝网印刷和烧结等工艺。 制绒清洗工艺是以湿法工艺为主，设备不贵，槽式批次式生产。在线连续式生产设备目前主要依靠进口，价格昂贵，但可节约生产材料。 扩散工艺以管式扩散炉为主，也

设备的总体的技术状况是：虽然已具备整线装备能力，但自动化水平较低，部分设备尚需实现突破。在湿法腐蚀和清洗设备方面，全自动制绒清洗设备、全自动PSG去除设备，国内已经能够制造，并接近国际水平，初步具备参与

　　当前太阳能生产线的设备供应包括各种各样的竞争方案，部分方案利用有毒化学物质，制造有毒废物。如现在工厂广泛应用丝网印刷和湿法刻蚀，它们利用现有适用于太阳能生产的成套生产线设备。不过太阳能是一种

理论上可完全聚焦的激光束)。 “绿色”设备 当前太阳能生产线的设备供应包括各种各样的竞争方案，部分方案利用有毒化学物质，制造有毒废物。如现在工厂广泛应用丝网印刷和湿法

一个里程碑。这份25套LMJ系统的订单是Synova 迄今最大的设备订单之一，这些系统将在欧洲的太阳能加工厂被整合入客户的领先专利硅高效技术——边缘限定硅膜生长(EFG)工艺中。这些LMJ 模块作为
不再需要进行如腐蚀边等额外工艺步骤，从而降低制造成本。此外，“湿法”技术还将切割流程中所有切片表面的固有污染物排出，由此提高了太阳能电池的整体质量和效能。 　　Synova 首席执行官Bernold

里程碑。这份25套LMJ系统的订单是Synova 迄今最大的设备订单之一，这些系统将在欧洲的太阳能加工厂被整合入客户的领先专利硅高效技术——边缘限定硅膜生长(EFG)工艺中。这些LMJ 模块作为
不再需要进行如腐蚀边等额外工艺步骤，从而降低制造成本。此外，“湿法”技术还将切割流程中所有切片表面的固有污染物排出，由此提高了太阳能电池的整体质量和效能。 Synova 首席执行官Bernold