湿法化学设备

化学气相沉积的方法来形成掺杂的掩膜层。这样在后续就只需要经过高温将杂质源扩散到硅片内部即可，从而节省一步高温过程。另外，也可在电池背面印刷一层含硼的叉指状扩散掩蔽层，掩蔽层上的硼经扩散后进入N型衬底
损伤，以及对接触电阻的影响；另外，精准对位是激光设备的必要条件，如果不采用Scanner方式的激光头，其加工时间往往较长，平均每片电池片的激光加工需耗时几分钟到十几分钟，生产效率低，目前只适合研发应用

离子反应法（Reactive Ion Etching，RIE）技术与湿法制绒的金属催化化学腐蚀法（metal Catalyzed Chemical Etching，MCCE）各据一方。除了能解决外观问题
显著。黑硅技术设备商常州比太科技CEO上官泉元表示：今年比太已预期接获1GW的订单，不论是在量产性、或是导入成本与提效的效果上，RIE都是目前最成熟、也最能获得效益的黑硅技术。从目前比太与P型技术领导

2004年11月组建成立的企业集团，是目前中国最大的常规燃煤电厂节能环保服务商及领先的可再生能源系统服务及设备制造商，也是早年风机业务市场份额仅次于金风科技的风电公司，2011年12月30日成功登陆香港H
是龙源环保连续十年在该统计中取得优异成绩。截至2015年上半年，国电科环污水处理量月117.1百万吨，COD（化学需氧量）累计减排量约为50,624.1吨。其中，等离子体点火技术水平居世界第一，根据网络

高科技产业于2004年11月组建成立的企业集团，是目前中国最大的常规燃煤电厂节能环保服务商及领先的可再生能源系统服务及设备制造商，也是早年风机业务市场份额仅次于金风科技的风电公司，2011年12月30日
名列第一，这也是龙源环保连续十年在该统计中取得优异成绩。截至2015年上半年，国电科环污水处理量月117.1百万吨，COD（化学需氧量）累计减排量约为50,624.1吨。其中，等离子体点火技术水平居

2004年11月组建成立的企业集团，是目前中国最大的常规燃煤电厂节能环保服务商及领先的可再生能源系统服务及设备制造商，也是早年风机业务市场份额仅次于金风科技的风电公司，2011年12月30日成功登陆香港H
，这也是龙源环保连续十年在该统计中取得优异成绩。截至2015年上半年，国电科环污水处理量月117.1百万吨，COD（化学需氧量）累计减排量约为50,624.1吨。其中，等离子体点火技术水平居世界第一

有可能发挥作用的特性有哪些？答：相较于传统电容电极，石墨烯超级电容有四大特色：1.表面积大，有利于产生高能量密度；2.超高导电性，有利于保持高功率密度；3.化学结构丰富有利于引入赝电容，提高能量密度；4.
组成的光伏和光电器件组（DFO）的研究团队近日开发了一个光电池设备，使用基于石墨烯材料制成的太阳能电池，可使太阳能电池的有效转化率达到15.6%。该团队的研究论文已经发表在《NanoLetters》期刊

的实验成果无疑对这项技术是一个巨大的推动，虽然我们还未解决所有化学方面固有的问题，但我们的结果为实际中电池设备的向前发展指明了方向。Grey小组的锂氧电池技术已经取得了技术专利，而且将通过剑桥大学旗下的商务部门剑桥企业做进一步的推广。

湿法化学生长。随后在氧化层之上，沉积20nm掺磷的非晶硅，之后经过退火重结晶并加强钝化效果。经过上述步骤，双面钝化的200m厚度的n型FZ硅片的隐开路电压(iVoc)可以达到710mV以上，即使后续
实验室中，科研人员已经采用SiO2钝化电池表面，并取得不俗的开路电压和效率。 SiNx：H 第一次进化 90年代，科研机构和制造商开始探索使用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制备含氢的

黑硅技术主要是RIE。但是，RIE黑硅由于需要昂贵的真空设备以及工艺均匀性较差等因素，尚未大规模进入量产。阿特斯历经3年的自主研发，攻克多道技术难关，于2014年12月成功将湿法黑硅技术推广到生产线，实现
进入业内技术人员的视野。同时，国产RIE设备也促进了该技术发展。但RIE设备的综合性价比始终制约着该技术的大规模推广。 另外一种可大规模产业化的黑硅技术是湿法黑硅技术。早在2006年，德国的

可能性的黑硅技术主要是RIE。但是，RIE黑硅由于需要昂贵的真空设备以及工艺均匀性较差等因素，尚未大规模进入量产。阿特斯历经3年的自主研发，攻克多道技术难关，于2014年12月成功将湿法黑硅技术推广到
。同时，国产RIE设备也促进了该技术发展。但RIE设备的综合性价比始终制约着该技术的大规模推广。另外一种可大规模产业化的黑硅技术是湿法黑硅技术。早在2006年，德国的Stutzmann小组即提出了金属