氧化铝薄膜

) 电池，其界面基于铪氧氮化物(HfOxNy)薄膜，以改善并四苯(Tetracene, Tc)和硅之间的耦合。Tc及其衍生物是SF的主要候选物，因为它们可以形成电荷转移和多激子态。该界面还包括一种薄的
氧化铝(AlOx)钝化层，防止转移的电荷载流子在硅表面立即重新组合，以及作为电子供体材料的锌酞菁(ZnPc)层。“为了最大限度地减少背面的复合，添加了一个结深为1 μm的背表面场(BSF)层和一个

于2023年，研发涵盖超薄硅片、CVD双面微晶、TCO复合膜等核心技术。针对叠层电池所需要的底电池，尤其是高效异质结底电池的微绒面设计、透明导电复合薄膜优化、带隙匹配、光谱响应优化、光路设计优化等做出的技术
微导纳米科技股份有限公司 产品总监 张鹤博士对比 CVD/PVD，ALD大面积均匀性好，薄膜质量高，能很好贴合各种表面形状，厚度控制精准且可做得很薄，是天生的低温工艺。在钙钛矿的应用上，一般采用反向

炉示范应用。二氧化碳基高分子材料等前沿技术开发应用，充分利用绿电资源，做足绿电化工产业。低碳零碳有色。重点支持氧化铝冷料预热、铝电解惰性阳极、无碳无氟铝电解替代等技术研发应用。努力研发高质量阳极技术、数字化
薄膜电池、叠层电池等基于新材料和新结构的光伏电池新技术。新型绿色氢能技术。研究基于合成生物学、太阳能直接制氢等绿氢制备技术;研究超低能耗的新型低温液态储氢技术。新型电力系统技术。新型电力系统高性能计算技术

积极参与“揭榜挂帅”，承担重点研发任务。水泥行业集中攻克水泥窑替代燃料技术、内循环沸腾煅烧技术。平板玻璃行业加快钙钛矿/碲化镉薄膜电池TCO玻璃、高档汽车用三银LOW-E镀膜玻璃等关键产品的研发，加大钢化
真空玻璃生产装备、高节能玻璃等技术的攻关。陶瓷行业重点突破干法制粉、原料制备控制系统、机器人注浆修坯施釉等技术，开展纳米氧化铝及透明陶瓷基板生产技术的自主研发。在功能陶瓷、特种玻璃、碳纤维及复合材料

Kaltenbrunner研究团队将高稳定性的二维钙钛矿和高功率转换效率的三维钙钛矿相结合，制备了一种准二维PSC，同时具有高稳定性、高功率密度和超轻薄的特性。通过纳米非晶氧化铝保护涂层的引入改善了气体和水蒸气阻隔性
(Cs0.12MA0.88)6Pb7I22的结构作为钙钛矿薄膜中的大块有机阳离子添加剂，以钝化缺陷并降低陷阱密度。并通过不同的阳离子添加剂制作了不同的PSC作为对比，扫描电镜与涂层玻璃衬底上薄膜的X射线衍射图

电池提效树立新里程碑，行业头部企业量产组件功率平均提升4W以上，最高可提升超5.9W。理想晶延EPD设备，采用空间型原子层沉积ALD技术沉积40-70nm氧化铝薄膜，可实现电池切割面良好覆盖，具有表面
6月13日，一场科技与绿色能源碰撞的国际盛宴，SNEC第十七届光伏展在上海国家会展中心正式拉开帷幕。理想晶延作为行业薄膜沉积高端装备创新先行者，携公司自主研制的系列镀膜设备产品及技术方案精彩亮相

，异质结作为单p/n结的技术终点，拓展性比较好，未来它和钙钛矿、薄膜技术结合起来形成叠层电池，相率将达到30%以上。我们也知道，异质结和其他类型的电池技术已经共存了很多年，但一直得不到很大的普及，原因是
将进一步摊薄，目前异质结设备从两三年前的5亿元/GW下降到现在的3.5亿元/GW。除了设备问题之外，传统的异质结还受到两方面问题的制约。一是非晶硅薄膜不耐受高温。这方面的问题，日升通过自有专利的声连接、无

微米的侧切面进行钝化，通过沉积由氮化硅覆盖的氧化铝和氧化硅层来实现，侧切面损坏性蚀刻之后进行钝化工艺。然而，生产这种电池需要几个额外的预金属化工艺步骤或金属化后化学蚀刻工艺，这就使得实现工业化量产具有
AlOx薄膜并进行薄膜沉积后退火(PDA)以激活沉积的AlOx钝化层。采用热原子层沉积方法(ALD)沉积AlOx，ALD沉积有以下几个优点：(I)ALD保形性好，例如，经过处理后电池的边缘被AlOx很好地包

薄膜组成，二者共同 形成钝化接触结构。超薄氧化层可以使多子电子隧穿进入多晶硅层同时阻挡少子空 穴复合，超薄氧化硅和重掺杂硅薄膜良好的钝化效果使得硅片表面能带产生弯曲，从 而形成场钝化效果，使
600-1000MW，未来同时低温工艺完美适配钙钛 矿叠层工艺，发展天花板有望进一步提升。1.2 钙钛矿挑起薄膜电池大梁薄膜电池是晶硅电池之外，光伏电池技术的另一个重要分支，具有很高的转换效 率潜力