氧化铝薄膜

双面电池：成本与发电量同时增加。工艺方面，与PERC相比，PERT不需要氧化铝及激光处理，但多了一道背面硼扩散工序，形成背表面全覆盖，以降低电池的背面接触电阻和复合速率，其成本与氧化铝类似。扩散方式
、天合、林洋等。 其他技术路线： HJT生产工艺已不同于常规晶硅电池技术，需薄膜技术支持，所需设备也大不相同;p-PERT作为p-PERC的替代方案，推广范围及产能均不大;n-PERC尚处在研究中

中，使用氧化铝双面钝化技术，获得了最高的载流寿命达到430纳秒，2001年的世界纪录碲化镉电池的载流子寿命只有10纳米，现在已经提高了一个数量级。多晶碲化镉薄膜电池开压普遍超过900mV已经是可以
，薄膜太阳电池研究组组长 整理人：王凯强 能见研究员 这篇文章将解答三个问题： 一是光伏产业产能到底有没有过剩? 二是光伏能不能做的更便宜?能不能满足我国电力的需求? 三是未来哪一种光伏技术有

制备105nm　AlOx薄膜钝化PERC电池背面，在0.5cm的4cm2 区熔单晶硅上制得效率为21.5%的电池，这是目前采用氧化铝钝化PERC电池的最高效率，而采用超薄的7nm　Al2O3
作用;二是原子层沉积Al2O3钝化层中含有大量固定负电荷，这些固定负电荷可以产生很强的场效应钝化作用。 文献中采用原子层沉积法合成了具有优异钝化特性的氧化铝薄膜，激起了人们对这种表面钝化材料的兴趣。文献

优化的重中之重。从早期的仅有背电场钝化，到正面氮化硅钝化，再到背面引入诸如氧化硅、氧化铝、氮化硅等介质层的钝化局部开孔接触的PERC设计。PERC概念的核心就在于为常规光伏电池增加全覆盖的背面钝化膜
，从而降低少数载流子浓度。 背钝化材料 在钝化膜材料的选择上。氧化铝(Al2O3)由于具备较高的电荷密度，可以对P型表面提供良好的钝化，目前被广泛应用于PERC电池量产的背面钝化材料。除氧化铝外

氧化层(氧化铝/钽五氧化物)作为电介质，电解电容器以其正电极的不同分为铝电解电容器和钽电解电容器。铝电解电容器的负电极由浸过电解质液(液态电解质)的薄纸/薄膜或电解质聚合物构成;钽电解电容器的负电极
的氧化铝层，难以控制氧化层厚度及均匀性，所以难以达到高的耐压及过压倍数。 因为R、L、C是组成电路的基本元素，各种电容(C)，存在与一个复杂的电路中。不可能所有的电解电容都会被薄膜电容代替。 3.

丝网印刷Ag栅线也同时在高温条件下穿透SiN与n 发射极直接接触。结果与讨论　　ALD和PECVD这两种工艺都能用于在硅片表面沉积氧化铝薄膜。实验结果显示在金属化之前背表面的复合速率可以被很好地控制在
受益于氧化铝钝化硅表面技术的革新，最近钝化发射极和背表面电池(PERC: Passivated Emitter and Rear Cell)概念在硅光伏工业领域显示出了复苏迹象，并推动了P型太阳能

钝化膜的优势，主要体现在三个方面。 氧化铝具有较高的固定负电荷密度Q10E13/cm3，可以得到优异的场钝化效果;氮化硅膜富含氢原子，可以在热处理过程中对表面和体内的缺陷进行化学钝化;氧化铝薄膜带隙