单晶制绒工艺

自己的大生产线上做设备，48所在探索先进工艺的过程中对一系列关键技术进行了重要的改进，取得了重大技术突破。单晶炉、清洗制绒机、高温烧结炉、丝网印刷机与高温烧结炉之间的自动连接系统、多线切割机等众多

设备创新能力。 邸允柱：在技术创新方面有什么进展？ 郭永兴：在竞争激烈的市场环境下，四十五所勇于创新，力争主动。大尺寸多线切割机，单晶硅、多晶硅全自动制绒机，多晶硅大生产用156mm

、信号灯等采用光伏产品。 二、自主创新 （一）建立以企业为主体的技术创新体系。通过产学研结合，整合技术资源，围绕大直径单晶硅生长、硅薄膜沉积、背电极镀膜、激光划线、定向固化结晶、电池制绒和整线优化等

线切割机、单晶、多晶全自动制绒机、多晶大生产用156MM高效半自动印刷机、600片大容量清洗甩干机等；应用于半导体前后道工序生产设备的单片腐蚀清洗机；应用于LED生产的全自动分选捡片机、多圆片平面式固晶

太阳能电池产业发展的全部重要设备。 　　目前，在太阳能电池生产线的10种主要设备中，六种已在国内生产线中占据主导。其中，扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备已达到或接近国际先进水平，性价比优势十分
明显。但是，多晶电池绒面制作的制绒机与进口设备还有一定差距，用于周边刻蚀的激光刻阻机及湿法化学刻蚀设备尚未成功开发。全自动丝网印刷机、自动分检机、平板式PECVD等三种设备近期内尚需完全依赖进口

主导。其中，扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备已达到或接近国际先进水平，性价比优势十分明显。但是，多晶电池绒面制作的制绒机与进口设备还有一定差距，用于周边刻蚀的激光刻阻机及湿法化学刻蚀设备尚未成功开发

崛起，但其中的一些关键设备还有待突破。王俊朝表示，太阳能电池制造设备中全自动丝网印刷机是亟待攻克的难题，目前已经有多家企业在攻关，估计最近一两年会有方案出来;而多晶硅连续制绒设备也已经有样品出来，过不了
，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量

，估计最近一两年会有方案出来;而多晶硅连续制绒设备也已经有样品出来，过不了多久就可以用在生产线上了。在多晶硅材料加工设备中多线切割机是要逾越的关卡，目前也已经有样机出来。这些都是值得期待的
扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口。“国产太阳能电池组件比国外低30%左右，很大一部分原因在于国产设备价格低，用国外设备建一条线的钱，可以用国内设备建3条线。”王俊朝对国产设备的

基本代表了国内的技术水平。新一代的清洗/制绒机，在多晶制绒工艺上进行了有针对性的技术改进，节水节液效果明显。全封闭软着陆扩散炉在温度和气氛场稳定性、偏磷酸排放、环保处理、扩散成本等技术性能方面又有全面

扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据
广泛应用。硅材料加工设备中单晶炉以优良的性价比占据了国内市场的绝对统治地位并批量出口亚洲，多线切割机已取得突破，多晶硅铸锭炉已经开始大量在国内企业中使用。尽管国产设备已经在光伏生产线上获得很好的口碑