光伏背膜

优化的重中之重。从早期的仅有背电场钝化，到正面氮化硅钝化，再到背面引入诸如氧化硅、氧化铝、氮化硅等介质层的钝化局部开孔接触的PERC设计。PERC概念的核心就在于为常规光伏电池增加全覆盖的背面钝化膜

足以证明PERC技术拥有强大的生命力和广阔的应用前景。 PERC电池只需在传统电池工艺基础上增加Al2O3/SiNx背镀膜和激光开膜两步工艺，与其它高效电池及技术相比，PERC电池技术难度较小，设备
531新政的挑战，难阻光伏企业追求高效技术的步伐。2018年上半年，尤为热闹。 HJT产业化进程加快，TOPcon开始导入量产，MWT渐成一股不可忽视的力量，N-PERT也积蓄着能量面对各种高效

衰减的主要因素，并对如何减小或避免光衰减的改善措施进行了分析。 晶体硅太阳电池是最重要的光伏器件，近年来一直是硅材料研究界和光伏产业界的重点关注领域。众所周知，常规的晶体硅太阳电池都是基于P型掺硼硅
太阳电池对杂质的容忍度要明显大于P型硅电池。但从P型电池工艺的丝网印刷来看，N型电池在转换效率上一些关键工艺还有待解决，而且制造成本也没有优势。 2)优化减反膜。 Kang研究发现，虽然采用沉积

了杂质引入的原因以及解决途径，从而显著减小了黑斑片产生的几率。 0 引言 晶硅电池组件广泛应用于光伏发电行业并形成相当大的产业规模，提高电池转换效率、减少电池的不合格率、优化生产工艺技术是降低
19.37%的黑斑电池片进行分析，选择的测量面积是4cm2，即对整个小样片的成分进行分析。采用美国Newport公司生产的光伏器件量子效率测试系统进行电池的量子效率测试，该系统组件包括锁相放大器

受益于氧化铝钝化硅表面技术的革新，最近钝化发射极和背表面电池(PERC: Passivated Emitter and Rear Cell)概念在硅光伏工业领域显示出了复苏迹象，并推动了P型太阳能
，开路电压也将因为短路电流密度的增大和二极管背电极复合电流减小而有所提高。通过在背部使用氧化物钝化层和局部扩散电极，结合在前表面采用倒金字塔结构和减反射膜，赵先生和他的合作者在1998年报告了在使用P型

，中来N型双面TOPCon电池背面采用多晶硅隧穿电极接触结构，正反两面均由覆盖SiNx减反膜，金属化由丝网印刷完成，由于两面栅线结构都是常规的H型，因此TOPCon电池不仅正面可以吸收光，其背表面也能从
激光掺杂等，简化了IBC电池背表面p+/n+界面处gap的制备工艺流程，开发出行业内领先的低成本;其次，离子注入的最大优点是可以精确地控制掺杂浓度，从而避免了炉管扩散中存在的扩散死层，通过掩膜可以形成

0 引言 为了进一步优化其生产工艺、提高晶体硅电池片效率、降低生产成本，此前已有诸多研究，20世纪80年代，澳大利亚新南威尔士大学光伏实验室提出了PERC结构太阳电池，打破了当时晶体硅太阳电池
增加到25nm后，电池转换效率反而有所降低，尤其填充因子降低明显，这可能是后续工序的激光能量偏低，对开膜部分的Al2O3薄膜清除不彻底，影响了铝浆与硅片之间的欧姆接触而导致。 3 烧结曲线对电池片

浆料发展的方向，为未来光伏技术的发展及正银浆料国产化提供了一定的思路 01不同硅基太阳电池技术 晶体硅太阳电池主要由经过不同工艺处理的硅基片、正面电极、铝背场及背面电极等组成。图1～图5 分别为不同
太阳电池，结构如图2 所示。PERC 太阳电池与常规 太阳电池的主要区别在于：1)PERC 太阳电池在背表面有钝化介质层( 多为Al2O3) 和保护层( 多为SiNx);2) 常规太阳电池铝背场与硅片

;氮氧化硅(SiONx)早期Solar Word以及现在的爱旭、润阳等;氧化铝(AlOx)现在主流厂家都采用氧化铝和氮化硅叠层膜的背钝化膜结构。 氧化铝和氮化硅叠层膜叠层结构作为P型PERC背面