低温多晶硅

优势在于超高电池转换效率，低制程温度以及可向薄型化发展。但是，由于设备初期投资高以及对制程工艺要求严格，大部分厂商对此技术仍在观望阶段。 效率发展及技术趋势 异质结电池具有能量转换效率高、简单的低温
制造工艺、薄硅片应用、温度系数和CTM低、可双面发电等一系列优势。异质结电池实现低成本量产的关键在于设备国产化、提高良率和产能以及降低硅片、低温银浆、TCO靶材和清洗制绒化学品等成本。日本松下、上澎

效率提高，工艺过程中化学品的用量大幅降低，节省成本。 3低压扩散工艺优化实验 晶硅太阳电池扩散工艺包括：进舟，恒温降压，低压氧化，低温低压沉积，升温，高温低压推进，升压，常压氧化，降温，出舟共10个
工艺过程。影响扩散工艺结果主要集中在低温低压沉积和高温低压推进这两个工艺过程。这两个工艺过程中的温度，气压，气体流量影响着扩散方阻的大小、方阻均匀性、制结深度，进而影响太阳电池的光电转换

IBC电池及组件项目正式开工。 异质结电池则具有能量转换效率高、简单的低温制造工艺、薄硅片应用、温度系数、可双面发电等一系列优势。该类电池实现低成本量产的关键在于设备国产化、提高良率和产能以及降低
硅片、低温银浆、TCO靶材和清洗制绒化学品等成本。日本松下、上澎、晋能、福建金石和中智电力等已实现异质结电池量产。2018年，通威、爱康、彩虹等企业纷纷开建异质结电池产能，且均规划了GW级产能布局，热度

摘要:研究了在真空与氮气两种环境中不同的退火温度和退火时间对氮化膜薄膜性能影响，测试了退火后氮化硅薄膜的膜厚、折射率、少子寿命以及电性能参数。结果表明，多晶硅管式PECVD真空退火环境优于氮气，并
确定当退火温度在450℃、退火时间20min时，工艺参数最佳。当温度过高过低均不利于膜厚的增加也不利于形成良好的欧姆接触，且此时光电转换效率较差。折射率的变化却不同，其最大值是在低温下达到的，此时氮气

换热器、熔融盐泵、蒸汽发生器、滑参数汽轮机、斯特林发电机、有机郎肯循环发电设备、高聚焦比太阳炉。 太阳能生产装备 光伏装备。包括高纯度、低耗能太阳能级多晶硅生产设备、单晶硅拉制设备、多晶硅铸锭装备
、太阳能在工农业应用的中低温系统与设备、太阳能与建筑结合集热系统、太阳能吸热涂层的镀膜设备、平板太阳能集热器生产设备、太阳能集热产品用的激光焊接设备，储能式多能互补清洁能源采暖、空调、热水三联供系统