丝网印刷工艺

。目前使用的是一种简单的两步实验室工艺，将光刻与金属蒸发结合起来。而在大规模生产中，金属化可以通过单步工艺来实现，比如利用掩膜来进行丝网印刷或蒸发。 　　这种专门设计的接触结构被应用到有源

片生产线上，属于比较成熟的设备；国产刻蚀设备距国际先进水平差距较大，产量较低，但性价比优势明显；管式PECVD工艺结果接近国际先进水平，正逐步进入大生产线，但相对于进口平板连续式PECVD设备，自动化
程度(自动装卸片)和产量都相对较低；高温烧结炉与国际先进水平有一定差距，但差距不大，开始在大生产线逐步使用；全自动丝网印刷机尚在开发中，半自动丝网印刷机(人工上下料)已进入大生产线。自动检测分档设备

环保形势，客观上也急需寻找可替代能源，这些都为光伏产业的发展奠定了良好的基础。 　　2.由国际一流光伏企业引领整个产业，并和设备企业结成了真正战略同盟关系，示范效应明显，彻底改变了以往设备和工艺需求
脱节的发展模式，设备企业能直接同步工艺技术发展，用户真正认识到没有国产设备的支撑，中国的光伏企业将丧失最主要的成本竞争优势。与IC行业对设备的需求相比，光伏设备的技术要求要略低一些，这也正是国内企业可大

)和进口设备并存但份额在逐步增大，3种(全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式PECVD)则完全依赖进口。 　　组件生产用的层压机、太阳模拟器等在行业获得广泛应用。 　　硅片加工设备中单晶炉以优良的
提供了难得的发展机遇。通过和一流电池企业合作并引进先进的工艺技术，历经多次技术换代及升级，国产的太阳能电池关键设备相继在国内大生产线上得到应用，使我国基本具备太阳能电池制造设备整线供给能力。 　　高纯

上，属于比较成熟的设备；国产刻蚀设备距国际先进水平差距较大，产量较低，但性价比优势明显；管式PECVD工艺结果接近国际先进水平，正逐步进入大生产线，但相对于进口平板连续式PECVD设备，自动化程度(自动
装卸片)和产量都相对较低；高温烧结炉与国际先进水平有一定差距，但差距不大，开始在大生产线逐步使用；全自动丝网印刷机尚在开发中，半自动丝网印刷机(人工上下料)已进入大生产线。自动检测分档设备目前国内还在

76.6%。预计2007年国产光伏电池设备销售额将超过7亿元。 　　各类国产设备与国际差距不一 　　PECVD产能及工艺水平已接近世界先进水平，得到越来越多国内用户的使用，但设备自动化程度(自动装卸片
)与国外尚有差距。 　　全自动丝网印刷机在核心技术上无法取得突破，整体水平和国外差距较大，国内生产线几乎全部采用了价格高昂的进口设备。 　　材料生长设备中的单晶炉在技术性能上虽然与国际先进水平有差距

2005年增长76.6%。预计2007年国产光伏电池设备销售额将超过7亿元。 　　各类国产设备与国际差距不一 　　PECVD产能及工艺水平已接近世界先进水平，得到越来越多国内用户的使用，但设备自动化
程度(自动装卸片)与国外尚有差距。 　　全自动丝网印刷机在核心技术上无法取得突破，整体水平和国外差距较大，国内生产线几乎全部采用了价格高昂的进口设备。 　　材料生长设备中的单晶炉在技术性能上虽然与国

用胶封装，工艺简单。所用电池片每年达6MW 之多，是太阳电池应用的一个大户(这部分未入统计)。 3.2 中国太阳电池的产业化现状 上世纪七十年代末到八十年代中，我国一些半导体器件厂
开始利用半导体工业废次单晶和半导体器件工艺生产单晶硅太阳电池，我国光伏工业进入萌发时期。八十年代中后期，我国一些企业引进成套单晶硅电池和组件生产设备，以及非晶硅电池生产线，使我国光伏电池∕组件总生产能力

。 会议主题：①多晶硅制备与技术，冶金硅物理提纯；　　　　　②高效低成本太阳电池工艺技术；　　　　　③自动化大规模太阳电池生产技术与装备；　　　　　④材料、器件、组件测试分析、质量认证及相关标准
昌金铭 德国Matrixx Technology 徐 龙 经理 扩散及丝网印刷技术新进展/烧结炉的技术进步 德国Manz 汪光裕

研究组织。所有高效CdTe／CdS太阳电池都采用上覆盖器件结构。下面详细介绍几种制备方法和电池性能。 3．5．1 丝网印刷烧结法 丝网印刷烧法具有工艺简单，生产