单晶太阳电池,效率为6%。同年,韦克尔首次发现了砷化镓有光伏效应,并在玻璃上沉积硫化镉薄膜,制成了第一块薄膜太阳电池。1955年第一个光电航标灯问世,美国无线电公司(RCA)研究砷化镓太阳电池,1958 Solar System 和Solarex的非晶硅项目满产,完成Astropower硅薄膜工厂,运行BP Solar、First Solar的碲化镉和PVI 的聚光光伏工厂。美国地方12个州提供拨款,15个
。由于PERC电池金属电极仍与硅衬底直接接触,金属与半导体的接触界面由于功函数失配会产生能带弯曲,并产生大量的少子复合中心,对太阳电池的效率产生负面影响。因此,有学者提出电池设计方案中用薄膜将金属与硅 路线选择。
从产线改造难度看,从 PERC 到 TOPCon 产线,主要增加几道工序:
1)TOPCon 增加了硼扩散工艺,通过硼磷管式扩散炉制备 P 型发射结和 N 型背面,在通过 PECVD 技