7月21日,众能光电最新打造的百兆瓦薄膜光电智慧产线设备正式从杭州发货启程,这批核心装备将为西南地区新一代光伏产业注入强劲动力。

目前,该类型产线主要由高精度狭缝涂布机、高精度激光刻蚀机、低损伤磁控溅射、近真空蒸发和原子层沉积这五款核心工艺设备构成,通过视觉识别和高精度光谱分析,可实时在厚度方向的加工尺度(10-300nm)实现控制精度1-5nm,在水平方向的加工尺寸(10-100um)实现控制精度1-2um。
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