资料显示,天龙光电主营单晶炉多晶炉,此外也在开发蓝宝石炉、多线切割机等其他产品,而MOCVD就是其储备的新产品之一。自光伏产业整体进入严冬以来,天龙光电主营就难以振作,2011年业绩同比下滑27%,2012年上半年亏损5265万元。如今MOCVD宣布有实质性进展,这对天龙光电来说,是难得的利好。
天龙光电工作人员对记者表示,公司这台设备能生产LED蓝绿光,主要用在照明和背光源领域,比红光的应用范围还要广,技术一部分是自己的,一部分来自客户,这次签约的客户位处长三角,是做外延片的企业,但该工作人员表示并不方便透露客户的名字。
随着化合物半导体器件(如 GaAs MMIC、 InP MMIC以及GaN蓝光LED)市场的不断扩大,MOCVD系统的需求量不断增长。目前国际上实力最为雄厚的MOCVD系统制造商有:德国Aixtron公司、美国的Emcore公司(其MOCVD已被Veeco兼并)、英国的Thomass~(1999年被Aixtron兼并)等。因为MOCVD系统最关键的问题就是保证材料生长的均匀性和重复性,因此不同厂家的MOCVD系统最主要的区别在于反应室结构。Aixtron采用行星反应(Planetary Reactor),Emcore采用TurboDisc反应室(该业务己出售给Veeco公司)、Thomas Swan(该公司于2003年2月份被Aixtron兼并)采用 Closed Coupled Showerhead(CCS)反应室。
目前国内拥有的进口MOCVD系统700台左右,其中 Aixtron MOCVD系统和Emcore MOCVD系统占绝大多数,有少量的 Thomas Swan MOCVD系统、法国ASM MOCVD系统和日本RIPPON SANSO MOCVD系统,主要用于GaN LD/LED的研究和制造。
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