巴斯夫拓展了用来制造太阳能电池的工艺化学品产品系列,新推出的SELURIS Clean产品是一种全新的环保型清洗解决方案。目前,巴斯夫已经可以对外供应SELURIS Clean。该产品能为太阳能电池生产提供多项优势,它能有效提升亲水性,这包括改善其表面活性,及后续的硅晶圆清洗与保护层形成。此外,SELURIS Clean也可在较低的温度下使用,这样成本自然就降低了。
SELURIS Clean – 更优质的清洗方案
SELURIS Clean在太阳能电池的生产流程中可应用两次,分别是在磷酸掺杂工艺的前后。在掺杂工艺前,必须要让经过切割和表面粗化的硅晶圆具备亲水性,这可使其表面较为润湿,并让磷酸更均匀地分布在晶圆上,使太阳能电池拥有最佳性能。
在掺杂工艺后,SELURIS Clean主要被用作高效清洗剂,可将残留在晶圆表面上的磷轻易、快速地清除,降低非预期性电气误差发生率,从而避免太阳能电池性能降低;同时改善晶圆表面的保护层。
巴斯夫全球电子材料业务部副总裁步凯熙说:“SELURIS Clean 拓展了我们在工艺化学品领域的产品种类。为此,我们积极运用了巴斯夫内部的专业知识及解决方案,特别是电子材料方面的经验。身为电子材料市场的先驱,我们是太阳能电池产业客户理想的合作伙伴,因为我们可以通过化学创新提升太阳能相对于其它能源的竞争力。”他进一步表示:“我们正致力于开发更多创新产品,对我们来说,太阳能产业是未来主要的市场之一。”
SELURIS – 提升工艺效率及性能
在SELURIS 的产品系列中,巴斯夫为客户提供用于单晶及多晶太阳能电池蚀刻、表面粗化、掺杂工艺的化学品。这些产品专门为太阳能电池的生产流程而调制。比如,此系列产品的化学纯度就是专为太阳能电池生产而量身定制的。SELURIS系列中有部分产品是用于蚀刻和表面粗化的化学品,能修复芯片切割时的损伤,并使表面结构化。此外,此系列产品也包含了用于晶圆掺杂工艺的高纯度氧氯化磷(POCl3)。