德国的Fraunhofer研究机构正试图减少硅锭到硅片过程中的切缝损失。
切割是用一条附有研磨液的超细金属丝进行的,此过程中,会产生约为180微米的缺口,而硅片也为180微米。伴随着缺口的出现,硅锭在此过程中变成粉尘,因此,会产生近50%的切缝损失。Fraunhofer部门经理Rainer Kübler称:“我们若要降低缺口损失,可将其降到100微米,也不影响工业使用。”
研究人员将重点放在研磨机理上,研究金属丝、研磨液和硅之间的相互作用。决定性的因素在于超细金属丝的切缝过程,研磨液的影响及成分,和金属丝上研磨液的含量。实验室中,Fraunhofer已经成功地将影响切缝损失的缺口减小到90微米。
(编辑:xiaoyao)